自己停止反応成膜装置及び自己停止反応成膜方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：大森純一 , 折居章 , 中村哲平 , 吉田望 , 金子彩子 , 金山慎太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-222579
公開番号（公開出願番号）：特開2013-082959
出願日： 2011年10月07日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
要約：

【課題】成膜の安定性を高めることができる原子層堆積装置及び原子層堆積方法を提供する。【解決手段】原子層堆積装置100は、ロール・ツー・ロールで搬送される基材の第1の面を支持しつつ、前記基材の搬送方向を第1の方向から前記第1の方向とは非平行な第2の方向へ変換するように構成された第1のガイドローラ11Aと、前記基材の前記第1の面を支持しつつ、前記基材の搬送方向を前記第2の方向から前記第2の方向とは非平行な第3の方向へ変換するように構成された第2のガイドローラ11Bと、前記第1のガイドローラと前記第2のガイドローラとの間に配置され、前記基材の前記第1の面とは反対側の第2の面に対向し、原子層堆積のための原料ガスを前記第2の面に向けて吐出するように構成された第1のヘッド12Aとを具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ロール・ツー・ロールで搬送される基材の第1の面を支持しつつ、前記基材の搬送方向を第1の方向から前記第1の方向とは非平行な第2の方向へ変換するように構成された第1のガイドローラと、前記基材の前記第1の面を支持しつつ、前記基材の搬送方向を前記第2の方向から前記第2の方向とは非平行な第3の方向へ変換するように構成された第2のガイドローラと、前記第1のガイドローラと前記第2のガイドローラとの間に配置され、前記基材の前記第1の面とは反対側の第2の面に対向し、自己停止反応成膜のための原料ガスを前記第2の面に向けて吐出するように構成された少なくとも1つの第1のヘッドとを具備する自己停止反応成膜装置。

IPC (1件)：

C23C 16/44

FI (1件)：

C23C16/44 F

Fターム (15件)：

4K030AA11 , 4K030AA14 , 4K030AA18 , 4K030BA43 , 4K030CA07 , 4K030CA12 , 4K030DA02 , 4K030DA03 , 4K030DA08 , 4K030EA04 , 4K030FA10 , 4K030GA14 , 4K030HA01 , 4K030KA02 , 4K030KA23

前のページに戻る