特許
J-GLOBAL ID：201303078291220913
粒径計測装置、及び粒径計測方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2010061188
公開番号（公開出願番号）：WO2011-045961
出願日： 2010年06月30日
公開日（公表日）： 2011年04月21日
要約：
被計測粒子に非接触で粒径を計測でき、かつ、計測可能な粒径範囲の拡大が可能とされた粒径計測装置、及び粒径計測方法を提供する。光源2から波長の異なる複数のレーザ光を随時射出し、浮遊する被計測粒子に照射する。そして被計測粒子によって散乱された散乱光のうち、第1の偏波面を有する第1の散乱光と、第1の偏波面に垂直な第2の偏波面を有する第2の散乱光とをレーザ光の波長を異ならせながら散乱光検出装置5で検出する。次に、散乱光検出装置5で検出された第1の散乱光と第2の散乱光との輝度を数値化し、これにより偏光比を求める。そして、波長毎に得られた複数の偏光比と理論的に導出された解析解とを比較することにより、被計測粒子の粒径を算出する。
請求項（抜粋）：
複数の異なる波長の光を浮遊する被計測粒子又は被計測粒子群に照射するために射出する光源と、
被計測粒子又は被計測粒子群に前記光が照射されることによって散乱された散乱光のうち、第1の偏波面を有する散乱光からなる第1の散乱光と、前記第1の偏波面に垂直な第2の偏波面を有する散乱光からなる第2の散乱光を、前記光源から射出される光の波長を変えながら検出する散乱光検出装置と、
前記散乱光検出装置で検出された前記第1の散乱光と前記第2の散乱光との輝度を数値化し、数値化された前記第1の散乱光の輝度と前記第2の散乱光の輝度の比による偏光比を前記光源から射出される光の波長毎に算出し、波長毎に得られた複数の偏光比と予め保持している解析解とを比較することにより、前記被計測粒子又は前記被計測粒子群の粒径を算出する算出部と、
を有して構成される粒径計測装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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