化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-211253
公開番号（公開出願番号）：特開2013-100260
出願日： 2012年09月25日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：

【課題】マスクエラーファクター優れたレジストパターンレジストパターンを得ることができる化合物、樹脂、レジスト組成物等を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する構造単位を有する樹脂と、酸発生剤とを含有するレジスト組成物。[式中、R1及びR2は、それぞれ独立に、炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基を表すか又はR1及びR2が互いに結合し、それらが結合している炭素原子とともに炭素数5〜20の環を形成する。R4は、エチレン性二重結合を含む基を表す。Wは、炭素数6〜18の2価の脂環式炭化水素基を表す。T1は、単結合、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基等を表す。T2は、炭素数1〜6の2価の脂肪族炭化水素基等を表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で表される化合物。

IPC (5件)：

C07D 317/24 , G03F 7/004 , G03F 7/039 , C08F 20/18 , C07D 317/72

FI (6件)：

C07D317/24 , G03F7/004 501 , G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , C08F20/18 , C07D317/72

Fターム (64件)：

2H125AF17P , 2H125AF38P , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH23 , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ43Y , 2H125AJ48Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ68X , 2H125AJ68Y , 2H125AJ69X , 2H125AJ69Y , 2H125AM22P , 2H125AM99P , 2H125AN02P , 2H125AN21P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN45P , 2H125AN54P , 2H125AN65P , 2H125AN67P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CB12 , 2H125CB16 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA03 , 4C022FA02 , 4J100AB07Q , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AL08T , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA11S , 4J100BA11T , 4J100BA15P , 4J100BA15S , 4J100BA15T , 4J100BB18P , 4J100BC04Q , 4J100BC04T , 4J100BC08S , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC09T , 4J100BC53T , 4J100BC54S , 4J100BC59T , 4J100BC84Q , 4J100CA03 , 4J100DA01 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100JA38

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