炭化珪素焼結部品並びにそれを用いたメカニカルシール及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：前田均 , 西出眞吾 , 大倉宏一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-154398
公開番号（公開出願番号）：特開2002-338368
特許番号：特許第4865146号
出願日： 2001年05月23日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】粒子平均径が0.010から0.030mmの大きさの炭化珪素大粉末を20から40重量%と、粒子平均径が0.0003から0.0009mmの大きさの炭化珪素微粉末を60から80重量%とを配合すると共に焼結助剤を添加して造粒粉を形成し、焼結して形成された結晶粒界間に気孔を有し、前記気孔は独立気孔であり、前記気孔の平均径が0.001から0.020mmの範囲に形成されて気孔率が3から10容量%を有することを特徴とする炭化珪素焼結部品。

IPC (3件)：