特許
J-GLOBAL ID：201303079087326482
封止膜形成方法、リチウム二次電池の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
石島 茂男
, 阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-155041
公開番号（公開出願番号）：特開2013-020888
出願日： 2011年07月13日
公開日（公表日）： 2013年01月31日
要約：
【課題】封止膜の形成工程以後に処理対象物がポリ尿素膜の軟化点以上の温度に加熱されても、封止膜の表面にしわが発生しない封止膜形成方法とリチウム二次電池の製造方法を提供する。【解決手段】 イソシアナート材料とアミン材料とを別々に加熱して蒸気を発生させ、処理対象物の表面に一緒に到達させてポリ尿素膜16a2を形成するポリ尿素膜形成工程と、アルミナのターゲットをスパッタして、ポリ尿素膜16a2の表面にアルミナ膜16c2を形成するアルミナ膜形成工程とを有する封止膜形成方法であって、アルミナ膜形成工程では、100MPa以上の引っ張り応力を持つアルミナ膜16c2を形成する。アルミナ膜16c2からポリ尿素膜16a2に膜面内で縮む方向の力がかかることはなく、ポリ尿素膜16a2は軟化点の温度以上に加熱されても、膜面内で縮む方向には変形せず、封止膜16の表面にしわは発生しない【選択図】図5
請求項（抜粋）：
イソシアナート材料とアミン材料とを別々に加熱して蒸気を発生させ、前記イソシアナート材料の蒸気と前記アミン材料の蒸気を処理対象物の表面に一緒に到達させ、前記表面にポリ尿素膜を形成するポリ尿素膜形成工程と、
アルミナのターゲットをスパッタして、前記アルミナの粒子を前記ポリ尿素膜が表面に露出する前記処理対象物の表面に到達させ、前記ポリ尿素膜の表面にアルミナ膜を形成するアルミナ膜形成工程と、
を有する封止膜形成方法であって、
前記アルミナ膜形成工程では、100MPa以上の引っ張り応力を持つ前記アルミナ膜を形成する封止膜形成方法。
IPC (4件)：
H01M 2/02
, H01M 10/058
, H01M 10/056
, H01M 10/052
H01M2/02 Z
, H01M10/00 117
, H01M10/00 107
, H01M10/00 102
5H011AA10
, 5H011CC08
, 5H011DD17
, 5H011DD18
, 5H011DD21
, 5H029AJ15
, 5H029AK02
, 5H029AK03
, 5H029AL12
, 5H029AM12
