特許

J-GLOBAL ID：201303079926982706

小ビームブランカ構成体

発明者： ヤン・ヤコ・ウィーランド ,  アレクサンダー・ヘンドリク・ビンセント・ファン・フェーン
出願人/特許権者： マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
代理人 (6件)： 蔵田 昌俊 ,  福原 淑弘 ,  中村 誠 ,  野河 信久 ,  白根 俊郎 ,  峰 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-024809
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140998
出願日： 2013年02月12日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：

【課題】個々の偏向器への制御信号の高いデータ速度伝送を可能にするリソグラフィシステムを提供する。【解決手段】複数の小ビームを使用してターゲットを露光するための荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムであって、複数の荷電粒子の小ビームを発生させるためのビーム発生器と、複数の小ビームをパターン化するための小ビームブランカと、ターゲットの表面上にパターン化された複数の小ビームを投影するための小ビームプロジェクタと、を具備し、このシステムは、偏向デバイスを具備し、前記偏向デバイスは、複数のメモリセルを有し、各メモリセルには、記憶素子が設けられており、各メモリセルは、偏向器のスイッチング電極に接続されている。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

複数の小ビームを使用してターゲットを露光するための荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムであって、 複数の荷電粒子の小ビームを発生させるためのビーム発生器と、 前記複数の小ビームをパターン化するための小ビームブランカと、 前記ターゲットの表面上に前記パターン化された複数の小ビームを投影するための小ビームプロジェクタと、を具備し、 このシステムは、偏向デバイスを具備し、 前記偏向デバイスは、複数のメモリセルを有し、 各メモリセルには、記憶素子が設けられており、各メモリセルは、偏向器のスイッチング電極に接続されているシステム。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  H01J 37/305

FI (4件)：

H01L21/30 541B ,  H01L21/30 541W ,  G03F7/20 504 ,  H01J37/305 B

Fターム (13件)：

2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C034BB03 ,  5C034BB10 ,  5F056AA07 ,  5F056CB05 ,  5F056CB13 ,  5F056EA03 ,  5F056EA05 ,  5F056EA06 ,  5F056EA08