特許
J-GLOBAL ID：201303080308278605
クリーンルーム用設備及びクリーンルームの空調方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
磯野 道造
, 多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-131071
公開番号（公開出願番号）：特開2013-002653
出願日： 2011年06月13日
公開日（公表日）： 2013年01月07日
要約：
【課題】運転条件の変化に柔軟に対応可能なクリーンルーム用設備及びクリーンルームの空調方法を提供する。【解決手段】クリーンルーム6への給気風量とクリーンルーム6内の圧力を制御するクリーンルーム用設備100であって、クリーンルーム6への給気風量を制御する風量制御手段3,9と、クリーンルーム6内の圧力を制御する圧力制御手段4,10と、風量制御手段3,9と圧力制御手段4,10とを制御する演算部14,15と、を備え、クリーンルーム6には、クリーンルーム6に供給されるエアが流通する給気ダクト12と、クリーンルーム6から排出されるエアが流通する排気ダクト13と、が接続され、風量制御手段3,9は、給気ダクト12と排気ダクト13とにそれぞれ備えられ、圧力制御手段4,10は、給気ダクト12と排気ダクト13とにそれぞれ備えられているクリーンルーム用設備100。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
クリーンルームへの給気風量と前記クリーンルーム内の圧力を制御するクリーンルーム用設備であって、
前記クリーンルームへの給気風量を制御する風量制御手段と、
前記クリーンルーム内の圧力を制御する圧力制御手段と、
前記風量制御手段と前記圧力制御手段とを制御する演算部と、
を備え、
前記クリーンルームには、前記クリーンルームに給気されるエアが流通する給気ダクトと、前記クリーンルームから排気されたエアが流通する排気ダクトと、が接続され、
前記風量制御手段は、前記給気ダクトと前記排気ダクトとにそれぞれ備えられ、
前記圧力制御手段は、前記給気ダクトと前記排気ダクトとにそれぞれ備えられている
ことを特徴とする、クリーンルーム用設備。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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