特許

J-GLOBAL ID：201303081027143120

基板アライメント方法及び基板検査装置

発明者： 堀之内 健人
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-012501
公開番号（公開出願番号）：特開2013-152120
出願日： 2012年01月24日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
要約：

【課題】基板上にアライメントマークが存在しない場合でも位置決めを高精度に行えるようにする。【解決手段】直交するアライメントマーク像51,52を基板10表面に投影する。その投影されたアライメントマーク像51,52とガラス基板10のX方向及びY方向ガラスエッジ53,54とを検出し、検出された結果に基づいて両者のずれ量を算出し、算出されたずれ量に基づいて基板10のアライメント位置を補正する。アライメントマーク像51,52を基板の4隅に投影し、4隅におけるずれ量の平均値を補正値量として位置補正を行う。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ステージ上に載置された基板の表面にアライメントマーク像を投影するステップと、 前記アライメントマーク像と前記基板のエッジを検出するステップと、 検出された前記アライメントマーク像と前記基板のエッジとのずれ量を算出するステップと、 算出された前記ずれ量に基づいて前記基板のアライメント位置を補正するステップと を備えたことを特徴とする基板アライメント方法。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01N 21/94 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G01B11/00 A ,  G01N21/94 ,  H01L21/68 F

Fターム (50件)：

2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065AA20 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC00 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF23 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065TT02 ,  2G051AA84 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB05 ,  2G051BC05 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CD03 ,  2G051DA07 ,  5F031CA05 ,  5F031HA05 ,  5F031HA09 ,  5F031HA33 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA27 ,  5F031JA36 ,  5F031JA37 ,  5F031JA51 ,  5F031KA02 ,  5F031MA33