特許

J-GLOBAL ID：201303081512825565

静電容量型センサ、音響センサ及びマイクロフォン

発明者： 内田 雄喜 ,  笠井 隆
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-125526
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251773
出願日： 2012年05月31日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：

【課題】ダイナミックレンジが広くてセンシング部間でのミスマッチングも小さく、しかも、センシング部間で歪み振動が伝わりにくくて高周波歪みを抑制することができる静電容量型センサを提供する。【解決手段】シリコン基板12の上方にスリット17で分割されたダイアフラム13a、13bが配置される。基板12の上面には、ダイアフラム13a、13bを覆うようにしてバックプレート18が設けられ、その下面には、ダイアフラム13a、13bに対向させて固定電極板19a、19bが配置される。バックプレート18及び固定電極板19a、19bには、アコースティックホール24が開口される。また、バックプレート18には、前記スリット17の直上においてバックプレート・スリット34を設ける。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板の上方に形成された振動電極板と、 前記振動電極板を覆うようにして前記基板の上方に形成されたバックプレートと、 前記振動電極板と対向させるようにして前記バックプレートに設けた固定電極板とを備えた静電容量型センサにおいて、 前記振動電極板と前記固定電極板のうち少なくとも一方が複数領域に分割されていて、分割された各領域毎にそれぞれ前記振動電極板と前記固定電極板からなるセンシング部が形成され、 前記センシング部どうしを区切るようにして、前記バックプレートに、振動の伝搬を抑制するための隔離部を設けたことを特徴とする静電容量型センサ。

IPC (2件)：

H04R 19/04 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

H04R19/04 ,  H01L29/84 Z

Fターム (20件)：

4M112AA06 ,  4M112BA07 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA06 ,  4M112CA11 ,  4M112CA12 ,  4M112CA13 ,  4M112CA14 ,  4M112CA15 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112FA01 ,  4M112FA07 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03 ,  5D021CC02 ,  5D021CC07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• シリコンマイクロフォン
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-044589   出願人：ヤマハ株式会社
• 特許第4924853号