特許

J-GLOBAL ID：201303082091471501

圧力センサー、圧力計、電子機器

発明者： 内村 剛
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 村上 友一 ,  出口 隆弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-018058
公開番号（公開出願番号）：特開2013-156196
出願日： 2012年01月31日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：

【課題】環境条件の変化によって、受圧感度が変動しない高精度で、信頼性、特に耐湿性の高い圧力センサーを実現することを目的とする。【解決手段】本発明の圧力センサー10は、感圧素子40と、前記感圧素子40が固定されている支持部材30と、一端に開口部が設けられ、他端が閉塞されているベローズと、を備え、前記他端側が接着剤70を用いて前記支持部材30と接着していることを特徴としている。また、前記支持部材30は、前記ベローズの接触箇所に前記他端側を挿入可能な凹部が設けられていることを特徴としている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

感圧素子と、 前記感圧素子が固定されている支持部材と、 一端に開口部が設けられ、他端が閉塞されているベローズと、 を備え、 前記他端側が接着剤を用いて前記支持部材と接着していることを特徴とする圧力センサー。

IPC (3件)：

G01L 7/06 ,  G01L 13/02 ,  G01L 9/00

FI (3件)：

G01L7/06 ,  G01L13/02 C ,  G01L9/00 C

Fターム (10件)：

2F055AA01 ,  2F055BB05 ,  2F055BB20 ,  2F055CC04 ,  2F055CC55 ,  2F055EE39 ,  2F055FF23 ,  2F055FF38 ,  2F055GG12 ,  2F055HH07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特許第4756394号