特許
J-GLOBAL ID:201303082096179710

多成分用レーザ式ガス分析計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森田 雄一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-277263
公開番号(公開出願番号):特開2013-127414
出願日: 2011年12月19日
公開日(公表日): 2013年06月27日
要約:
【課題】発光側において、異なる複数波長以上のレーザ光源から出た光を、ファイバカプラを使用せずに空間に放射することによって、発光側での挿入損失を無くし、光のパワーを効率よく受光素子まで伝送することで、測定ガスの吸収信号の強度を高める多成分用レーザ式ガス分析計を提供する。【解決手段】発光部100は、複数ガスを分析するため、ピグテール型発光素子11a,11b,11c,11dのレーザ光をそれぞれ伝送するシングルモード型光ファイバ12a,12b,12c,12dの端部をファイババンドル端部21で束ねて各レーザ光の出射点を近接させつつ出射させ、受光部200で検出信号から複数ガスの性状を分析する多成分用レーザ式ガス分析計1とした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
レーザ光による検出光を出射する発光部と、複数の測定対象ガスが存在する空間を介して伝播された検出光を受光する受光部と、を備え、複数種類の測定対象ガスの濃度を測定する周波数変調方式の多成分用レーザ式ガス分析計であって、 前記発光部は、 それぞれの測定対象ガス別に設けられる素子であって周波数変調されたレーザ光を出射する複数の発光素子と、これらの発光素子のレーザ光をそれぞれ伝送する複数の光ファイバと、これらの光ファイバの端部を束ねて各レーザ光の出射点を近接させるためのファイババンドル端部と、このファイババンドル端部から出射された結合光に対して収差の影響を低減しつつ前記空間に検出光として出射する放物面鏡と、を備え、 前記受光部は、 前記空間を透過した検出光を収差の影響を低減しつつ集光する放物面鏡と、この放物面鏡から出力された集光を受光する受光素子と、前記受光素子からの検出信号に基づいてガス分析を行う分析部と、 を備えたことを特徴とする多成分用レーザ式ガス分析計。
IPC (1件):
G01N 21/39
FI (1件):
G01N21/39
Fターム (15件):
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059CC07 ,  2G059EE01 ,  2G059EE11 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG09 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK03 ,  2G059NN02

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