特許

J-GLOBAL ID：201303082139094497

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法

発明者： 平野 修史 ,  高橋 年哉
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (17件)： 蔵田 昌俊 ,  高倉 成男 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  井関 守三 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-146756
公開番号（公開出願番号）：特開2013-015590
出願日： 2011年06月30日
公開日（公表日）： 2013年01月24日
要約：

【課題】高感度、良好なラフネス特性、良好なパターン形状、及び現像欠陥の低減を同時に満足する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、及び、パターン形成方法を提供すること。【解決手段】フッ素原子を含有する繰り返し単位を含む樹脂(Aa)と、酸の作用によりアルカリ溶解性が変化する樹脂であって、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する構造部位を備えた繰り返し単位(B)を含む樹脂(Ab)を含有することを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

フッ素原子を含有する繰り返し単位を含む樹脂(Aa)と、酸の作用によりアルカリ溶解性が変化する樹脂であって、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する構造部位を備えた繰り返し単位(B)を含む樹脂(Ab)を含有することを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/28 ,  C08F 212/14

FI (5件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/28 ,  C08F212/14

Fターム (107件)：

2H125AF15P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF20P ,  2H125AF21P ,  2H125AF22P ,  2H125AF27P ,  2H125AF34P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF45P ,  2H125AF54P ,  2H125AF55P ,  2H125AF70P ,  2H125AH05 ,  2H125AH08 ,  2H125AH12 ,  2H125AH15 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ04Y ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ42Y ,  2H125AJ43Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ47Y ,  2H125AJ48Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ66X ,  2H125AJ69X ,  2H125AJ69Y ,  2H125AJ70Y ,  2H125AJ92Y ,  2H125AJ93Y ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AN11P ,  2H125AN36P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN56P ,  2H125AN62P ,  2H125AN63P ,  2H125AN65P ,  2H125AN67P ,  2H125AN86P ,  2H125AN88P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB12 ,  2H125CB16 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4J100AB03R ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AB07S ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100BA02R ,  4J100BA02S ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA05Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA15R ,  4J100BA40R ,  4J100BA56R ,  4J100BB12R ,  4J100BB18P ,  4J100BC03P ,  4J100BC03T ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC09R ,  4J100BC43Q ,  4J100BC43R ,  4J100BC44R ,  4J100BC44S ,  4J100BC48Q ,  4J100BC48R ,  4J100BC49S ,  4J100BC53R ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA38