特許
J-GLOBAL ID:201303082193944234
微細回路の形成のためのエンベデッド用銅箔
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
小堀 益
, 堤 隆人
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-526669
公開番号(公開出願番号):特表2013-503965
出願日: 2010年08月31日
公開日(公表日): 2013年02月04日
要約:
キャリア銅箔層と、キャリア銅箔層の一表面に形成されたバリヤー層と、バリヤー層の表面に形成されたシード層と、からなり、バリヤー層は、ニッケルまたはニッケル合金層であり、シード層は、銅層であり、シード層の表面の平均粗度は、Rz:1.5μm未満、Rmax:2.5μm未満であるエンベデッドパターン用銅箔を提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
キャリア銅箔層と、
前記キャリア銅箔層の一表面に形成されたバリヤー層と、
前記バリヤー層の表面に形成されたシード層と、からなり、
前記バリヤー層は、ニッケルまたはニッケル合金層であり、前記シード層は、銅層であり、
前記シード層の表面の平均粗度は、Rz:1.5μm未満、Rmax:2.5μm未満であることを特徴とするエンベデッドパターン用銅箔。
IPC (5件):
C25D 1/10
, C25D 7/06
, H05K 3/20
, C25D 5/12
, C25D 3/38
FI (5件):
C25D1/10
, C25D7/06 A
, H05K3/20 B
, C25D5/12
, C25D3/38 101
Fターム (33件):
4K023AA01
, 4K023AA19
, 4K023BA06
, 4K023CB13
, 4K023CB33
, 4K023CB42
, 4K023DA06
, 4K023DA07
, 4K023DA08
, 4K024AA03
, 4K024AA09
, 4K024AB02
, 4K024AB08
, 4K024BA09
, 4K024BB11
, 4K024BC02
, 4K024CA01
, 4K024CA02
, 4K024CA04
, 4K024CA06
, 4K024DB04
, 4K024FA05
, 5E343AA13
, 5E343AA17
, 5E343AA18
, 5E343BB02
, 5E343BB24
, 5E343BB62
, 5E343BB67
, 5E343DD56
, 5E343DD63
, 5E343FF08
, 5E343GG08
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