特許

J-GLOBAL ID：201303082762829309

アルミニウム化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法

発明者： 清水 雅子 ,  山田 直樹 ,  桜井 淳 ,  白鳥 翼
出願人/特許権者： 株式会社ADEKA
代理人 (2件)： 羽鳥 修 ,  中野 廣己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-004965
公開番号（公開出願番号）：特開2013-145787
出願日： 2012年01月13日
公開日（公表日）： 2013年07月25日
要約：

【課題】自然発火性が無く、常温で液体であり、充分な揮発性を示し且つ高い熱安定性を有するアルミニウム化合物、これを含有してなる薄膜形成用原料及び該原料を用いた薄膜の製造方法を提供すること。【解決手段】下記化学式(I)で表されるアルミニウム化合物、該アルミニウム化合物を含有してなる薄膜形成用原料、並びに、該薄膜形成用原料を気化させて得た、上記アルミニウム化合物を含有する蒸気を、基体が設置された成膜チャンバー内に導入し、該アルミニウム化合物を分解及び/又は化学反応させて該基体の表面にアルミニウムを含有する薄膜を形成する薄膜の製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記化学式(I)で表されるアルミニウム化合物。

IPC (3件)：

H01L 21/316 ,  C23C 16/40 ,  C07F 5/06

FI (3件)：

H01L21/316 X ,  C23C16/40 ,  C07F5/06 D

Fターム (23件)：

4H048AA01 ,  4H048AA03 ,  4H048AB91 ,  4H048AB92 ,  4H048VA20 ,  4H048VA80 ,  4H048VB10 ,  4H048VB40 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA02 ,  4K030BA43 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  5F058BC03 ,  5F058BD05 ,  5F058BF02 ,  5F058BF05 ,  5F058BF07 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BJ01