特許

J-GLOBAL ID：201303083145538573

検査装置、検査方法、リソグラフィ装置及びインプリント装置

発明者： 山田 顕宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-280066
公開番号（公開出願番号）：特開2013-178231
出願日： 2012年12月21日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：

【課題】検出対象の異物を効率よく検出することができる検査装置を提供する。【解決手段】異物検査装置は、照射部と検出器と決定部と制御部とを備える。前記照射部は、検査光を表面に照射する。前記検出器は、前記検査光が照射された表面から生じる散乱光を検出する。前記決定部は、被検物の表面粗さのデータと検査対象の異物の大きさのデータとを用いて、前記異物に起因する散乱光を前記表面粗さに起因する散乱光から識別可能とする前記検査光の前記表面における照射領域を決定する。前記制御部は、前記検査光の前記表面における照射領域が前記決定部により決定された照射領域となるように前記照射部を制御する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

被検物の表面上の異物の検査を行う検査装置であって、 検査光を前記表面に照射する照射部と、 前記検査光が照射された表面から生じる散乱光を検出する検出器と、 前記被検物の表面粗さのデータと検査対象の異物の大きさのデータとを用いて、前記異物に起因する散乱光を前記表面粗さに起因する散乱光から識別可能とする前記検査光の前記表面における照射領域を決定する決定部と、 前記検査光の前記表面における照射領域が前記決定部により決定された照射領域となるように前記照射部を制御する制御部と、 を備えることを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/30 502V ,  H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z ,  H01L21/66 J

Fターム (29件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB05 ,  2G051CA02 ,  2G051CA06 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EA25 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AP19 ,  4F209AQ01 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PH02 ,  4F209PH30 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA43 ,  4M106DB20 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ19 ,  5F146AA18 ,  5F146AA31