特許

J-GLOBAL ID：201303083618969658

幾何学量測定装置及び幾何学量測定方法

発明者： 稲田 明彦 ,  市原 浩一
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-043294
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217912
出願日： 2013年03月05日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：

【課題】被測定物の幾何学量の測定をより高効率に実行可能な幾何学量測定装置を提供する。【解決手段】ワークの平面度を測定する幾何学量測定装置は、X軸方向に距離Dbずつ隔てて配置される3つの距離センサ9a〜9cとY軸方向に距離Daずつ隔てて配置される3つの距離センサ9c〜9eとを有するセンサヘッド9と、センサヘッド9をワークに対してX軸方向に相対移動させるテーブル移動用アクチュエータと、センサヘッド9をワークに対してY軸方向に相対移動させる砥石ヘッド左右送り用アクチュエータとを備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被測定物の、基準となる幾何学的形状からの逸脱の大きさである幾何学量を測定する幾何学量測定装置であって、 第1方向に間隔を空けて配置される少なくとも3つの距離センサと前記第1方向に直交する第2方向に間隔を空けて配置される少なくとも3つの距離センサとを有するセンサヘッドと、 前記センサヘッドを前記被測定物に対して前記第1方向に相対移動させる第1移動機構と、 前記センサヘッドを前記被測定物に対して前記第2方向に相対移動させる第2移動機構と、 を含む幾何学量測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01B21/30 101F ,  G01B11/30 101

Fターム (16件)：

2F065AA01 ,  2F065AA06 ,  2F065AA31 ,  2F065AA47 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ05 ,  2F065MM06 ,  2F065PP22 ,  2F069AA01 ,  2F069AA54 ,  2F069AA55 ,  2F069AA71 ,  2F069GG07 ,  2F069GG66 ,  2F069GG68 ,  2F069JJ07