特許

J-GLOBAL ID：201303083721407226

ハンダボール印刷機

発明者： 五十嵐 章雄 ,  水鳥 量介 ,  川辺 伸一郎 ,  橋本 尚明 ,  本間 真
出願人/特許権者： 株式会社日立プラントテクノロジー
代理人 (1件)： 北岡 一人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-248737
公開番号（公開出願番号）：特開2013-105889
出願日： 2011年11月14日
公開日（公表日）： 2013年05月30日
要約：

【課題】最近半導体チップの電極部に形成するハンダバンプが微小化してきており、ハンダボールを用いて印刷する場合にハンダボールも微小化されている。このため印刷ハンダボールを精度良く印刷することが求められている。【解決手段】ハンダボールの印刷するための充填ヘッドが回転軸に設けた8角形の固定部材の各面毎に、スキージホルダを固定し、該スキージホルダに複数の線材からなるスリットスキージを取り付け、所定の押付力でマスク面に押し付けながら回転軸を回転させながら充填ヘッドを移動させることでハンダボールを効率よくマスク開口部に充填する構成とした。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

フラックスが塗布された基板面に形成された複数の電極部に、マスクを介してハンダボールを印刷するハンダボール印刷機において、 ハンダボールをマスクに設けられた開口部に充填する充填ヘッドを備え、 前記充填ヘッドを構成する充填部が、回転軸に設けた外形が6角形〜12画の多角形の固定部材の各面にスキージホルダをそれぞれ固定し、前記スキージホルダに充填ヘッドの進行方向に対して所定の角度を有するように、複数の線材で形成されるスリットスキージを前記スキージホルダのマスク面側の面と前記線材との間に空間ができるように取り付けたことを特徴とするハンダボール印刷機。

IPC (1件)：

H01L 21/60

FI (1件)：

H01L21/92 604E