特許

J-GLOBAL ID：201303084407216315

環境センサ素子及び環境センサ

発明者： 堀内 貞男
出願人/特許権者： シチズンホールディングス株式会社 ,  シチズンファインテックミヨタ株式会社
代理人 (2件)： 宮島 明 ,  土屋 繁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-014733
公開番号（公開出願番号）：特開2013-156041
出願日： 2012年01月27日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：

【課題】小型化薄型化が可能であり、低消費電力で動作する環境センサ素子及び環境センサを提供する。【解決手段】2つの振動脚11、12と、この2つの振動脚の間に配置される中央脚13と、中央脚13の一方の端部と2つの振動脚11、12の一方の端部とをそれぞれ結合する結合部14と、中央脚13の他方の端部に結合する支持部15とを有する振動片10と、2つの振動脚11、12にガス感応膜20を形成する環境センサ素子1の構成とした。また、振動片10の支持を中央脚13の1箇所と支持部15の2箇所による計3箇所で支持する構成とした。これにより、環境センサ素子の小型化薄型化を実現し、CI値が小さいので低消費電力で動作する環境センサを提供出来る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

2つの振動脚と、 2つの前記振動脚の間に配置される中央脚と、 前記中央脚の一方の端部と2つの前記振動脚の一方の端部とをそれぞれ結合する結合部と、 前記中央脚の他方の端部に結合する支持部と、を有する振動片と、 前記振動脚に形成されたガス感応膜と、を備える ことを特徴とする環境センサ素子。

IPC (3件)：

G01N 5/02 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215

FI (3件)：

G01N5/02 A ,  H03H9/19 L ,  H03H9/215

Fターム (13件)：

5J108AA09 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108CC11 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108HH01 ,  5J108HH05