特許

J-GLOBAL ID：201303084847071483

カーボンナノチューブ構造体の製造方法

発明者： 柳 鵬 ,  姜 開利 ,  ▲ハン▼ 守善
出願人/特許権者： ツィンファ ユニバーシティ ,  鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司
代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-092202
公開番号（公開出願番号）：特開2013-234115
出願日： 2013年04月25日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【課題】本発明は、カーボンナノチューブ構造体の製造方法に関するものである。【解決手段】本発明のカーボンナノチューブ構造体の製造方法は、成長面を有する基板を提供する第一ステップと、カーボンナノチューブ層を前記成長面に設置し、前記カーボンナノチューブ層を通じて前記成長面の一部を露出させる第二ステップと、前記カーボンナノチューブ層が設置された基板に触媒を堆積して、前記カーボンナノチューブ層の表面に第一触媒を形成し、前記成長面に第二触媒を形成する第三ステップと、前記成長面にカーボンナノチューブアレイを形成し、前記カーボンナノチューブ層の表面にカーボンナノチューブクラスターを形成する第四ステップと、前記カーボンナノチューブ層、前記カーボンナノチューブアレイ及び前記カーボンナノチューブクラスターを一体として前記基板から剥離する第五ステップと、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

成長面を有する基板を提供する第一ステップと、 複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブ層を前記成長面に設置し、前記カーボンナノチューブ層を通じて前記成長面の一部を露出させる第二ステップと、 前記カーボンナノチューブ層が設置された基板に触媒を堆積して、前記カーボンナノチューブ層の一つの表面に第一触媒を形成し、前記成長面に第二触媒を形成する第三ステップと、 カーボンナノチューブを成長する工程を行い、該工程において前記成長面に複数のカーボンナノチューブが成長されてカーボンナノチューブアレイを形成し、前記カーボンナノチューブ層の表面に複数のカーボンナノチューブが成長されて、カーボンナノチューブクラスターを形成する第四ステップと、 前記カーボンナノチューブ層、前記カーボンナノチューブアレイ及び前記カーボンナノチューブクラスターを一体として前記基板から剥離する第五ステップと、 を含むことを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の製造方法。

IPC (3件)：

C01B 31/02 ,  B82Y 40/00 ,  B82Y 30/00

FI (3件)：

C01B31/02 101F ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00

Fターム (15件)：

4G146AA11 ,  4G146AB07 ,  4G146AD05 ,  4G146AD29 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB22 ,  4G146BB23 ,  4G146BC09 ,  4G146BC25 ,  4G146BC33B ,  4G146BC42 ,  4G146BC43 ,  4G146BC44 ,  4G146CB29