特許
J-GLOBAL ID：201303084955520502

カセット保持機構およびウエハ格納ユニット

発明者：
塚中 寧彦

塚中 寧彦 について

, 
關目 浩成

關目 浩成 について


出願人/特許権者：
日鉄住金ファインテック株式会社

日鉄住金ファインテック株式会社 について


代理人 (5件)： 吉田 稔 ,  田中 達也 ,  仙波 司 ,  鈴木 泰光 ,  臼井 尚
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-007749
公開番号（公開出願番号）：特開2013-149704
出願日： 2012年01月18日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
要約：
【課題】 ウエハをカセットに格納できないといった不具合を抑制することができるカセット保持機構を提供すること。【解決手段】 底板361と、複数枚のウエハ881を互いに離間した状態で格納する空間を介して底板361に対向する上板362と、を含むカセット36を保持するカセット保持機構37であって、底板361の平面視において底板361を互いに挟持する、第1底板挟持器具372および第2底板挟持器具376と、上板362の平面視において上板362を互いに挟持し、底板361に対する上板362の平面視における上板362の位置を規定する、第1上板挟持器具374および第2底板挟持器具378と、を備える。【選択図】 図14
請求項（抜粋）：
底板と、複数枚のウエハを互いに離間した状態で格納する空間を介して前記底板に対向する上板と、を含むカセットを保持するカセット保持機構であって、 前記底板の平面視において前記底板を互いに挟持する、第1底板挟持器具および第2底板挟持器具と、 前記上板の平面視において前記上板を互いに挟持し、前記底板に対する前記上板の平面視における前記上板の位置を規定する、第1上板挟持器具および第2底板挟持器具と、を備える、カセット保持機構。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (27件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA14 ,  5F031FA30 ,  5F031GA10 ,  5F031GA12 ,  5F031GA24 ,  5F031GA30 ,  5F031GA35 ,  5F031GA51 ,  5F031GA63 ,  5F031JA01 ,  5F031JA02 ,  5F031JA08 ,  5F031JA22 ,  5F031LA04 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031MA23 ,  5F031PA02 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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