特許

J-GLOBAL ID：201303085419389009

リチャージ管及びリチャージ方法

発明者： 松本 克 ,  池田 丈周 ,  上杉 敏治
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-051797
公開番号（公開出願番号）：特開2013-184858
出願日： 2012年03月08日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：

【課題】多結晶原料をルツボ内へリチャージする際に共に投入される石英等の屑や異物を効率的に取り除き、単結晶の歩留まりを向上させることができるリチャージ管及びリチャージ方法を提供することを目的とする。【解決手段】チャンバー内で、ルツボに充填された多結晶原料をヒータにより溶融して原料融液として、該原料融液から単結晶を引き上げる単結晶製造装置において用いられる、前記ルツボ内に多結晶原料を投入するためのリチャージ管であって、該リチャージ管は、前記多結晶原料を収容する石英製の円筒部材と、該円筒部材の下端の開口部を開閉するためのバルブ部材とを有し、該バルブ部材には切り欠き部が設けられ、前記円筒部材の下端の開口部を前記バルブ部材で閉じた状態で前記切り欠き部によって前記リチャージ管の内外を貫通する隙間が形成されるものであるリチャージ管。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

チャンバー内で、ルツボに充填された多結晶原料をヒータにより溶融して原料融液として、該原料融液から単結晶を引き上げる単結晶製造装置において用いられる、前記ルツボ内に多結晶原料を投入するためのリチャージ管であって、該リチャージ管は、前記多結晶原料を収容する石英製の円筒部材と、該円筒部材の下端の開口部を開閉するためのバルブ部材とを有し、該バルブ部材には切り欠き部が設けられ、前記円筒部材の下端の開口部を前記バルブ部材で閉じた状態で前記切り欠き部によって前記リチャージ管の内外を貫通する隙間が形成されるものであることを特徴とするリチャージ管。

IPC (1件)：

C30B 15/02

FI (1件)：

C30B15/02

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077CF06 ,  4G077EG29 ,  4G077PB02 ,  4G077PB09 ,  4G077PB11