特許
J-GLOBAL ID：201303085469057457
空気流量測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
石黒 健二
, 長谷 真司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-236557
公開番号（公開出願番号）：特開2013-015543
出願日： 2012年10月26日
公開日（公表日）： 2013年01月24日
要約：
【課題】センサチップ12の裏側を流れる空気の乱れを抑制することにより、センサ出力を安定化できるエアフロメータを提供する。【解決手段】センサチップ12を保持するケース13は、空気の流れに沿った表面に凹部13aが形成され、この凹部13aにセンサチップ12を収容すると共に、センサ基板7の他端側を接着剤14により凹部13aの底面に固定してセンサチップ12を片持ち支持している。つまり、ダイヤフラム8が形成されるセンサ基板7の一端側は、凹部13aの底面に接着されていないため、センサ基板7と凹部13aとの間に隙間を有している。このケース13には、ダイヤフラム8を形成するために除去されたセンサ基板7の空洞部7aに対し、凹部13aの底面から突起して空洞部7aに入り込む凸状部13bが設けられ、空洞部7aとの間に略均一な隙間を形成している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
センサ基板(7)の長手方向の一端側に、裏面から表側へ向かってテーパ状に空洞部(7a)を形成することにより、この空洞部(7a)に対応する前記センサ基板(7)の表面にダイヤフラム(8)が設けられ、且つ、このダイヤフラム(8)の表面上に発熱抵抗体(9)を配置したセンサチップ(12)と、
このセンサチップ(12)を保持するために形成された凹部(13a)を有し、この凹部(13a)に配置される前記センサチップ(12)の他端側を接着剤(14)により固定して、前記センサチップ(12)の一端側の裏面および両側面と前記凹部(13a)の底面および両側面との間にそれぞれ隙間を有する状態で前記センサチップ(12)を片持ち支持するケース(13)とを備え、
このケース(13)を空気通路(2)に配置して、前記発熱抵抗体(9)の熱交換を基に空気流量を測定する空気流量測定装置(1)において、
前記ケース(13)は、前記センサ基板(7)に形成された前記空洞部(7a)に対し、前記凹部(13a)の底面から突起して前記空洞部(7a)に入り込む凸状部(13b)が設けられていることを特徴とする空気流量測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
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感熱式流量センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2008-328427
出願人：株式会社デンソー
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感熱式流量センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-332348
出願人：三菱電機株式会社
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流量センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-222829
出願人：株式会社山武
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