特許

J-GLOBAL ID：201303085492632639

膜厚測定装置

発明者： 藤森 匡嘉
出願人/特許権者： 大塚電子株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-169368
公開番号（公開出願番号）：特開2013-032981
出願日： 2011年08月02日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
要約：

【課題】本発明は、被測定物との距離に依存することなく、被測定物の膜厚を高い精度を測定することが可能な膜厚測定装置を提供する。【解決手段】本発明は、光源10と、第1光路と、第1集光レンズと、分光測定部40と、第2光路と、第2集光レンズと、データ処理部50を備える膜厚測定装置100である。光源は、所定の波長範囲をもつ測定光を照射する。第1光路は、光源10から照射した測定光を被測定物に導く。第1集光レンズは、第1光路から出射する測定光を被測定物に集光する。分光測定部40は、反射率または透過率の波長分布特性を取得する。第2光路は、被測定物で反射された光または被測定物を透過した光を、分光測定部に導く。第2集光レンズは、第2光路の端部に集光する。データ処理部50は、分光測定部40で取得した波長分布特性を解析することで、被測定物の膜厚を求める。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

膜厚測定装置であって、 基板上に少なくとも1層の膜を形成した被測定物に対して所定の波長範囲をもつ測定光を照射する光源と、 前記光源から照射した前記測定光を前記被測定物に導く少なくとも1つの第1光路と、 前記第1光路から出射する前記測定光を前記被測定物に集光する第1集光レンズと、 前記第1集光レンズで集光した前記測定光のうち、前記被測定物で反射された光または前記被測定物を透過した光に基づいて、反射率または透過率の波長分布特性を取得する分光測定部と、 前記被測定物で反射された光または前記被測定物を透過した光を、前記分光測定部に導く少なくとも1つの第2光路と、 前記被測定物で反射された光または前記被測定物を透過した光を、前記第2光路の端部に集光する第2集光レンズと、 前記分光測定部で取得した前記波長分布特性を解析することで、前記被測定物の膜厚を求めるデータ処理部を備える、膜厚測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/06 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01B11/06 G ,  H01L21/66 P

Fターム (28件)：

2F065AA30 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065CC31 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA04 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH38 ,  4M106DH40 ,  4M106DJ20