特許

J-GLOBAL ID：201303086195406138

透過電子顕微鏡用の試料支持体、透過電子顕微鏡および試料の3次元構造観察方法

発明者： 尾崎 栄治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-286799
公開番号（公開出願番号）：特開2013-134978
出願日： 2011年12月27日
公開日（公表日）： 2013年07月08日
要約：

【課題】 透過電子顕微鏡を用いた3次元構造観察において、簡便かつ精確に360°全方向からの情報が取得できる汎用性のある試料支持体及び3次元構造観察方法を提供する。【解決手段】 先端部分に少なくとも一部分が単結晶である結晶性試料台座を備えている試料台と、前記試料台が着脱可能に嵌着される支持基体とを有する試料支持体であって、前記試料台は回転軸を中心に回転しても支持基体に着脱可能である透過電子顕微鏡用の試料支持体。試料を搭載する試料ホルダと、前記試料ホルダの位置および傾斜角を調整する試料移動機構を備えている透過電子顕微鏡であって、前記試料ホルダに上記の試料支持体を備えている透過電子顕微鏡及び前記透過電子顕微鏡を用いた試料の3次元構造観察方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

先端部分に少なくとも一部分が単結晶である結晶性試料台座を備えている試料台と、前記試料台が着脱可能に嵌着される支持基体とを有する試料支持体であって、前記試料台は回転軸を中心に回転しても支持基体に着脱可能であることを特徴とする透過電子顕微鏡用の試料支持体。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/22

FI (3件)：

H01J37/20 C ,  H01J37/22 501A ,  H01J37/20 A

Fターム (3件)：

5C001AA01 ,  5C001AA05 ,  5C001CC03