特許

J-GLOBAL ID：201303086371073124

シリカ焼結体ルツボ

発明者： 深沢 祐司 ,  一ノ倉 正人 ,  前田 圭介
出願人/特許権者： コバレントマテリアル株式会社
代理人 (2件)： 木下 茂 ,  石村 理恵
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-242536
公開番号（公開出願番号）：特開2013-095652
出願日： 2011年11月04日
公開日（公表日）： 2013年05月20日
要約：

【課題】ルツボの基体となる外層と、前記外層の内周面に形成された、シリコン等の溶融液と接する内層とを備えたシリカ焼結体ルツボにおいて、前記内層が外層から剥離し難いシリカ焼結体ルツボを提供する。【解決手段】ルツボの基体となる外層と、前記外層の内周面に形成された、シリコン等の溶融液と接する内層とを備えたシリカ焼結体ルツボであって、前記外層が、溶融シリカ粒子からなる層であり、前記内層が、球状のシリカ粒子及びシリカ微粉末からなる層であり、前記内層と外層の界面近傍における球状のシリカ粒子の間の空間もしくは溶融シリカ粒子の間の空間が、前記シリカ微粉末によって閉塞されている。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ルツボの基体となる外層と、前記外層の内周面に形成された、シリコン等の溶融液と接する内層とを備えたシリカ焼結体ルツボであって、 前記外層が、シリカ粒子からなる層であり、 前記内層が、球状のシリカ粒子及びシリカ微粉末からなる層であり、 前記内層と外層の界面近傍における球状のシリカ粒子の間の空間もしくはシリカ粒子の間の空間が、前記シリカ微粉末によって閉塞されることを特徴とするシリカ焼結体ルツボ。

IPC (4件)：

C03B 20/00 ,  C30B 29/06 ,  C30B 15/10 ,  C04B 35/14

FI (4件)：

C03B20/00 H ,  C30B29/06 502B ,  C30B15/10 ,  C04B35/14

Fターム (9件)：

4G014AH00 ,  4G030AA37 ,  4G030BA31 ,  4G030CA03 ,  4G030CA04 ,  4G030GA11 ,  4G030GA35 ,  4G077EG02 ,  4G077PD05