特許

J-GLOBAL ID：201303086614300400

基板収納抜取ユニット、ガラス基板の抜取り方法およびガラス基板の収納方法

発明者： 森倉 稔貴
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-011814
公開番号（公開出願番号）：特開2013-152975
出願日： 2012年01月24日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
要約：

【課題】ロボットハンドによるガラス基板の基板収納カセットへの収納時や、抜取り時に、ロボットハンドとガラス基板またはガラス基板とガラス基板またはガラス基板と基板収納カセットが干渉しない基板収納カセットの基板収納抜取ユニットおよびガラス基板の収納および抜取り方法を提供すること。【解決手段】ガラス基板を、複数枚収納して搬送するための基板収納カセットの基板収納抜取りユニットであって、少なくとも、ガラス基板の上方から前記ガラス基板を保持するガラス基板保持機構と、前記ガラス基板保持機構を上下左右に駆動する駆動機構と、前記ガラス基板保持機構と前記駆動機構と前記ガラス基板を搬送するロボットハンドとを連動して制御する制御装置と、からなることを特徴とする基板収納カセットの基板収納抜取ユニット。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ガラス基板を、複数枚収納するための基板収納カセットの基板収納抜取りユニットであって、少なくとも、 ガラス基板の上方から前記ガラス基板を保持するガラス基板保持機構と、 前記ガラス基板保持機構を上方または下方に駆動する駆動機構と、 前記ガラス基板保持機構と前記駆動機構と前記ガラス基板を搬送するロボットハンドとを連動して制御する制御装置と、からなることを特徴とする基板収納カセットの基板収納抜取ユニット。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (11件)：

5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA17 ,  5F031GA02 ,  5F031GA28 ,  5F031GA30 ,  5F031GA46 ,  5F031PA13 ,  5F031PA20