感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、有機EL表示装置および液晶表示装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-092815
公開番号（公開出願番号）：特開2013-222020
出願日： 2012年04月16日
公開日（公表日）： 2013年10月28日
要約：

【課題】高い感度、低いプリベーク依存性、優れた表面硬度、少ない現像残渣を兼ね備えた感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、(B)光酸発生剤、(C)特定のフタル酸アミド構造を有する閉環型熱塩基発生化合物、および、(D)溶剤を含有する感光性樹脂組成物。(1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、(2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位を有する重合体、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、 (1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、 (2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位を有する重合体、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、 (B)光酸発生剤、 (C)下記一般式(I)で表される化合物、および、 (D)溶剤を含有する感光性樹脂組成物。一般式(I)

IPC (9件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 , G03F 7/40 , C08F 20/26 , H05B 33/02 , H01L 51/50 , H05B 33/22 , H05B 33/10 , H01L 21/027

FI (10件)：

G03F7/039 601 , G03F7/004 503B , G03F7/004 503A , G03F7/40 , C08F20/26 , H05B33/02 , H05B33/14 A , H05B33/22 Z , H05B33/10 , H01L21/30 502R

Fターム (61件)：

2H096AA27 , 2H096AA30 , 2H096BA11 , 2H096EA02 , 2H096HA01 , 2H096HA03 , 2H125AC33 , 2H125AE03P , 2H125AE13P , 2H125AE14P , 2H125AE18P , 2H125AE22P , 2H125AF52P , 2H125AG00P , 2H125AH05 , 2H125AH06 , 2H125AH07 , 2H125AH22 , 2H125AJ04Y , 2H125AJ14X , 2H125AJ52X , 2H125AJ53X , 2H125AJ63X , 2H125AJ63Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ64Y , 2H125AM67P , 2H125AM86P , 2H125AN36P , 2H125AN82P , 2H125AN86P , 2H125BA05P , 2H125BA22P , 2H125BA26P , 2H125BA33P , 2H125BA34P , 2H125CA22 , 2H125CA24 , 2H125CB05 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC45 , 3K107DD15 , 3K107DD90 , 3K107DD97 , 3K107GG06 , 3K107GG28 , 4J100AB07P , 4J100AL08P , 4J100BA02P , 4J100BA03P , 4J100BA04P , 4J100BA06P , 4J100BA15P , 4J100BC04P , 4J100BC43P , 4J100BC53P , 4J100JA37 , 4J100JA38

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