特許

J-GLOBAL ID：201303086827030775

デカルトロボットクラスタツール構築

発明者： ライス, マイク ,  ハドゲンス, ジェフリー ,  カールソン, チャールズ ,  ウィーヴァー, ウィリアム タイラー ,  ローレンス, ロバート ,  イングルハート, エリック ,  ルゼック, ディーン シー. ,  シルヴェッティー, デイヴ ,  クチャー, マイケル ,  ヴァン カトウィック, カーク ,  ホスキンズ, ヴァン ,  シャー, ヴィネイ ,  ホングハム, スティーヴ
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-195132
公開番号（公開出願番号）：特開2013-030787
出願日： 2012年09月05日
公開日（公表日）： 2013年02月07日
要約：

【課題】要求される装置性能目標を満たし、システムスループットを増加させ、処理シーケンスCoOを低減する形で基板の処理を行えるシステムを提供する。【解決手段】基板支持面を有する基部901と、前記基部901上に位置決めされた反応部材908と、基板101を反応部材908に対して強制押圧するアクチュエータ910に結合している接触部材907と、接触部材907が基板901を反応部材908に対して強制押圧するように位置決めされた場合に、接触部材907の動作を禁止するように適合されたブレーキ部材920とを備える基板を移送する機器を用いてクラスタツールを構築する。【選択図】図16A

請求項（抜粋）：

基板支持面を有する基部と、 前記基部上に位置決めされた反応部材と、 基板を前記反応部材に対して強制押圧するアクチュエータに結合している接触部材と、 前記接触部材が前記基板を前記反応部材に対して強制押圧するように位置決めされた場合に、前記接触部材の動作を禁止するように適合されたブレーキ部材と、 を備える基板を移送する機器。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (25件)：

5F131AA02 ,  5F131BA11 ,  5F131BB02 ,  5F131BB03 ,  5F131BB13 ,  5F131BB23 ,  5F131CA32 ,  5F131DB02 ,  5F131DB13 ,  5F131DB52 ,  5F131DB63 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DD03 ,  5F131DD13 ,  5F131DD42 ,  5F131DD49 ,  5F131DD53 ,  5F131DD82 ,  5F131GA14 ,  5F131KA03 ,  5F131KA12 ,  5F131KA52 ,  5F131KB53 ,  5F131KB58