水性アルカリ性エッチング及び洗浄組成物、及びシリコン基材の表面を処理するための方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江藤聡明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-513788
公開番号（公開出願番号）：特表2013-534547
出願日： 2011年06月01日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
要約：

(A)水酸化第4級アンモニウム;及び(B)以下の一般式、 (R1-SO3-)nXn+ (I) R-PO32-(Xn+)3-n (II) (RO-SO3-)nXn+ (III) RO-PO32-(Xn+)3-n (IV)、及び [(RO)2PO2-]nXn+ (V); (但し、インデックスn=1又は2;Xが、水素、アルカリ金属、及びアルカリ土類金属であり;変化項目R1が、オレフィン性不飽和脂肪族部分又は脂環式の部分であり;及び変化項目Rが、R1又はアルキルアリール部分である) の水溶性の酸及びその水溶性の塩から成る群から選ばれる成分、を含む、シリコン基材の表面を処理するための水性のアルカリ性エッチング、及び洗浄組成物;この組成物をシリコン基材を処理するために使用する方法、シリコン基材の表面を処理するための方法、及び電磁放射に曝されて電気を発生する装置を製造するための方法。

請求項（抜粋）：

(A)少なくとも1種の水酸化第4級アンモニウム;及び (B)以下の (b1)一般式I: (R1-SO3-)nXn+ (I) の水溶性のスルホン酸、及びその水溶性の塩、 (b2)一般式II: R-PO32-(Xn+)3-n (II) の水溶性のホスホン酸、及びその水溶性の塩、 (b3)一般式III: (RO-SO3-)nXn+ (III) の水溶性の硫酸エステル、及びその水溶性の塩、 (b4)一般式(IV): RO-PO32-(Xn+)3-n (IV) の水溶性のリン酸エステル、及びその水溶性の塩、及び (b5)一般式(V): [(RO)2PO2-]nXn+ (V) の水溶性のリン酸エステル、及びその水溶性の塩、 (但し、インデックスn=1又は2;変化項目Xが、水素、アルカリ金属、及びアルカリ土類金属から成る群から選ばれ;変化項目R1が、2〜5個の炭素原子及び少なくとも1つのオレフィン性不飽和二重結合を有する脂肪族部分、及び4〜6個の炭素原子、及び少なくとも1つのオレフィン性不飽和二重結合を有する脂環式の部分から成る群から選ばれ;及び変化項目Rが、2〜5個の炭素原子及び少なくとも1つのオレフィン性不飽和の二重結合を有する脂肪族部分、4〜6個の炭素原子及び少なくとも1つのオレフィン性不飽和の二重結合を有する脂環式部分、及びアルキルアリール部分から成る群から選ばれ、ここでアリール部分がベンゼン及びナフタレンから選ばれ、アルキル部分がメチレン、エタン-ジイル、及びプロパン-ジイルから選ばれ、及び一般式II中のリン原子が直接的に、及び一般式III中の硫黄原子、及び一般式IV及びV中のリン原子が、それぞれ酸素原子を介して脂肪族炭素原子に結合している) から成る群から選ばれる少なくとも1種の成分、を含むことを特徴とする水性アルカリ性エッチング及び洗浄組成物。

IPC (18件)：

C11D 17/08 , C11D 1/62 , C11D 1/12 , C11D 1/34 , C11D 1/22 , C11D 7/36 , C11D 7/34 , C11D 7/32 , C11D 3/33 , H01L 21/304 , H01L 31/04 , C11D 3/39 , C11D 7/08 , C11D 3/04 , C11D 7/18 , C11D 7/38 , C11D 7/26 , C11D 3/20

FI (18件)：

C11D17/08 , C11D1/62 , C11D1/12 , C11D1/34 , C11D1/22 , C11D7/36 , C11D7/34 , C11D7/32 , C11D3/33 , H01L21/304 647A , H01L31/04 H , C11D3/39 , C11D7/08 , C11D3/04 , C11D7/18 , C11D7/38 , C11D7/26 , C11D3/20

Fターム (39件)：

4H003AB14 , 4H003AB26 , 4H003AB37 , 4H003AC07 , 4H003AE06 , 4H003BA12 , 4H003DA15 , 4H003DB01 , 4H003EA23 , 4H003EB07 , 4H003EB19 , 4H003EB22 , 4H003ED02 , 4H003FA21 , 4H003FA28 , 5F151AA02 , 5F151AA03 , 5F151GA04 , 5F151GA15 , 5F157AA23 , 5F157AA28 , 5F157AA72 , 5F157AA76 , 5F157AB02 , 5F157AB33 , 5F157AB34 , 5F157AB94 , 5F157AC56 , 5F157BB02 , 5F157BC03 , 5F157BC12 , 5F157BC13 , 5F157BD03 , 5F157BD05 , 5F157BE55 , 5F157BF12 , 5F157BF39 , 5F157DB15 , 5F157DB37

引用特許：

審査官引用 (1件)

金属窒化物の選択的なウェットエッチング
公報種別：公表公報出願番号：特願2008-505349 出願人：サッチェム,インコーポレイテッド, ディーンデュウォルフ

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