特許
J-GLOBAL ID：201303087490736928
加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-049933
公開番号（公開出願番号）：特開2013-187272
出願日： 2012年03月07日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：
【課題】円板状被加工物の裏面に円形凹部を形成するとともに外周部に補強部として環状凸部を残存させる加工を、従来に比べて安価に実施する。【解決手段】円板状被加工物1の裏面1b側の外周部分に切削ブレード33で環状溝6Aを形成し、次いで環状溝6Aの内側の環状溝内周領域6Bを切削除去して円形凹部1Eを形成するにあたり、環状溝内周領域6Bの一端で切削ブレード33を切り込ませる切り込みステップと、切り込みステップの後、被加工物1と切削ブレード33とを相対的に加工送り方向に直線移動させて環状溝内周領域6Bの一端から他端まで切削する直線切削ステップと、直線切削ステップの後、切削ブレード33の被加工物1への切り込みを解除するとともに加工送り方向に直交する割り出し送り方向に切削ブレード33と被加工物1とを相対移動させる割り出し送りステップとを繰り返し行い、円形凹部1Eを形成する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
円板状被加工物の裏面に円形凹部を形成するとともに該凹部を囲繞する環状凸部を形成する加工方法であって、
円板状被加工物の表面側を回転可能な保持テーブルで保持する保持ステップと、
該保持テーブルで保持された円板状被加工物の外周縁から円板状被加工物の中心側に所定距離向かった位置に回転する切削ブレードを円板状被加工物の裏面側から所定深さに切り込ませ、該保持テーブルを回転させて円板状被加工物の外周部に環状溝を形成する環状溝形成ステップと、
該環状溝形成ステップを実施した後、前記環状溝で区画された環状溝内周領域を前記切削ブレードで切削除去して円板状被加工物の裏面に円形凹部を形成するとともに該円形凹部を囲繞する環状凸部を形成する円形凹部形成ステップと、を備え、
前記円形凹部形成ステップは、
前記環状溝内周領域の一端で前記切削ブレードを前記所定深さに切り込ませる切り込みステップと、
該切り込みステップを実施した後、円形状被加工物と前記切削ブレードとを相対的に加工送り方向に直線移動させて前記環状溝内周領域の一端から他端まで切削する直線切削ステップと、
該直線切削ステップを実施した後、前記切削ブレードの円板状被加工物への切り込みを解除するとともに前記加工送り方向に直交する割り出し送り方向に該切削ブレードと円板状被加工物とを相対移動させる割り出し送りステップと、を含み、
前記切り込みステップと前記直線切削ステップと前記割り出し送りステップとを繰り返すことで前記環状溝内周領域を前記切削ブレードで切削除去して前記円形凹部を形成するとともに該円形凹部を囲繞する環状凸部を形成すること
を特徴とする加工方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5F057AA41
, 5F057BA11
, 5F057CA15
, 5F057DA17
