特許
J-GLOBAL ID：201303087538048069
振動片の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
村上 友一
, 出口 隆弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-084620
公開番号（公開出願番号）：特開2013-214638
出願日： 2012年04月03日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：
【課題】溝部を有する振動片の製造方法において、基板に振動片の外形をエッチングで形成する際に、基板上の溝部の形成領域が同時にエッチングされてしまうのを防ぐ振動片の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】振動片1の製造方法は、基板10上にCr膜20、Au膜30、Ni膜40及び第1のレジスト膜50を順に成膜し、第1のレジスト膜50を振動片1の外形及び溝部の形状にパターニングし、Ni膜40のうちパターニングされた第1のレジスト膜50と重なっていない部分をエッチングし、エッチングにより露出したAu膜30上に第2のレジスト膜60を成膜し、第2のレジスト膜60を振動片1の外形にパターニングし、パターニングされた第2のレジスト膜60と重なっていないCr膜20とAu膜30と基板10とをエッチングして基板10に振動片1の外形を形成し、第2のレジスト膜60を剥離し、溝部に相当するCr膜20、Au膜30をエッチングし、溝部に相当する基板10をエッチングして基板10に溝部を形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
溝部を有する振動片の製造方法であって、
基板上に、第1の金属膜、第2の金属膜、第3の金属膜及び第1のレジスト膜を、順に成膜する工程と、
前記第1のレジスト膜を前記振動片の外形及び前記溝部の形状にパターニングする工程と、
前記第3の金属膜のうち前記パターニングされた前記第1のレジスト膜と重なっていない部分をエッチングする工程と、
前記エッチングにより露出した前記第2の金属膜上に第2のレジスト膜を成膜する工程と、
前記第2のレジスト膜を前記振動片の外形にパターニングする工程と、
前記パターニングされた前記第2のレジスト膜と重なっていない前記第1の金属膜と前記第2の金属膜と前記基板とをエッチングして、前記基板に前記振動片の外形を形成する工程と、
前記第2のレジスト膜を剥離する工程と、
前記溝部に相当する前記第1の金属膜と前記第2の金属膜とをエッチングする工程と、
前記溝部に相当する前記基板をエッチングすることにより、前記基板に前記溝部を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする振動片の製造方法。
IPC (4件)：
H01L 41/22
, H03H 3/02
, H01L 41/09
, H01L 41/18
H01L41/22 Z
, H03H3/02 B
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101A
5J108AA09
, 5J108BB01
, 5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC11
, 5J108FF05
, 5J108KK01
, 5J108MM11
