特許

J-GLOBAL ID：201303087719435897

表面形状測定方法および表面形状測定装置

発明者： 梅垣 嘉之 ,  原園 学
出願人/特許権者： JFEスチール株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-121783
公開番号（公開出願番号）：特開2013-246125
出願日： 2012年05月29日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
要約：

【課題】変位計で測定した物体表面の変位データのみを用いて、この変位データ中の外乱を排除し、物体表面に加工された溝の寸法を精度良く測定する表面形状測定方法を提供する。【解決手段】物体の表面を走査して取得した変位データを探索して物体表面に加工された溝を含む物体表面の概略範囲を検出する溝概略範囲検出ステップSTP2と、概略範囲に含まれる溝の溝始点および溝終点を算出する溝幅算出ステップSTP3と、溝始点と溝終点の中央位置から溝幅の所定割合の幅の範囲に限定した変位データの最小値を算出する最深位置検出ステップと、最深位置検出ステップで算出された前記変位データの最小値と前記物体表面の高さとの差を前記物体表面に加工された溝の深さとして算出する溝深さ算出ステップSTP4とを含む。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

物体表面に光線を照射して測定を行う光学式変位計により前記物体表面を走査して、前記光学式変位計に対する前記物体表面の変位データを取得する変位データ取得ステップと、 前記変位データを探索して前記物体表面に加工された溝を含む物体表面の概略範囲を検出する溝概略範囲検出ステップと、 前記概略範囲に含まれる前記溝の溝始点および溝終点を算出する溝幅算出ステップと、 前記溝始点と前記溝終点の中央位置から前記溝幅の所定割合の幅の範囲に限定した前記変位データの最小値を算出する最深位置検出ステップと、 前記最深位置検出ステップで算出された前記変位データの最小値と前記物体表面の高さとの差を前記物体表面に加工された溝の深さとして算出する溝深さ算出ステップと、 を含むことを特徴とする表面形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/22 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01B11/22 Z ,  G01B11/24 A

Fターム (22件)：

2F065AA01 ,  2F065AA17 ,  2F065AA21 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA51 ,  2F065BB02 ,  2F065CC06 ,  2F065DD04 ,  2F065DD05 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ07 ,  2F065LL04 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ29