特許

J-GLOBAL ID：201303087754581448

荷電粒子光学系、及びそれを用いた露光装置

発明者： 加藤 貴久
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-027949
公開番号（公開出願番号）：特開2013-165199
出願日： 2012年02月13日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
要約：

【課題】基板の一方の主面の温度上昇と基板の温度勾配を低減することにより基板の反りを効果的に低減し、良好な光学特性を有する荷電粒子光学系や光学素子アレイ構造体を提供する。【解決手段】荷電粒子光学系は、荷電粒子ビームに荷電粒子光学的に作用する電場を形成する対向電極を含む対向電極アレイが設けられた第一の基板1を有する。荷電粒子ビームの光軸を法線とし、第一の基板の対向電極が形成されている面を第一の主面とし、第一の主面の反対側の面を第二の主面とし、第一の主面から第二の主面への方向の寸法を厚さとして、第一の基板1は、第二の主面から厚さ方向へ伸びた、第一の基板1よりも熱伝導性が高い第一の充填材料が設けられた領域7を有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数の荷電粒子ビームにそれぞれ荷電粒子光学的に作用する電場を形成する複数の対向電極を含む対向電極アレイが設けられた第一の基板を有する荷電粒子光学系であって、 前記荷電粒子ビームの光軸を法線とし、前記第一の基板の前記対向電極が形成されている面を第一の主面とし、前記第一の主面の反対側の面を第二の主面とし、第一の主面から第二の主面への方向の寸法を厚さとして、前記第一の基板は、前記第二の主面から厚さ方向へ伸びた、前記第一の基板よりも熱伝導性が高い第一の充填材料が設けられた領域を有することを特徴とする荷電粒子光学系。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H01J 37/305

FI (3件)：

H01L21/30 541W ,  H01J37/305 B ,  H01L21/30 541B

Fターム (8件)：

5C034BB02 ,  5C034BB03 ,  5C034BB04 ,  5C034BB05 ,  5C034BB10 ,  5F056AA33 ,  5F056EA03 ,  5F056EA06