研磨パッド

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-145155
公開番号（公開出願番号）：特開2012-179714
特許番号：特許第5132830号
出願日： 2012年06月28日
公開日（公表日）： 2012年09月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】研磨面に開口したスラリーを保持する貫通孔を有する研磨パッドにおいて、少なくともその貫通孔の開口のエッジ部にその全周にわたり傾斜が付けられており、裏面またはこれと平行な線(基準線)と貫通孔内壁面とで挟む角度が90 ° 未満である、ことを特徴とする研磨パッド。

IPC (2件)：