特許

J-GLOBAL ID：201303088082800339

波面測定装置及び波面測定方法、物体測定装置

発明者： 加治木 康介 ,  尾内 敏彦 ,  井辻 健明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-084441
公開番号（公開出願番号）：特開2013-007740
出願日： 2012年04月03日
公開日（公表日）： 2013年01月10日
要約：

【課題】波面の分解能を改善した波面測定装置の提供。【解決手段】電磁波パルス1の電場強度に関する信号を検出する検出部3と、電磁波パルスの伝搬経路として第一の伝搬経路と前記第一の伝搬経路と異なる領域に前記第一の伝搬経路と異なる長さの第二の伝搬経路とを備えるように前記検出部に到達する電磁波パルスを遅延させる遅延光学部と、前記検出部により検出された電場強度に関する信号を用いて電磁波パルスの時間波形を構成する波形構成部4aと、前記電磁波パルスの時間波形と前記遅延光学部における前記第一、前記第二の伝搬経路の長さに関する情報とに基づき電磁波パルスの波面を取得する波面取得部4bと、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電磁波パルスの波面を測定する波面測定装置であって、 電磁波パルスの電場強度に関する信号を検出する検出部と、 電磁波パルスの伝搬経路として第一の伝搬経路と前記第一の伝搬経路と異なる領域に前記第一の伝搬経路と異なる長さの第二の伝搬経路とを備えるように前記検出部に到達する電磁波パルスを遅延させる遅延光学部と、 前記検出部により検出された電場強度に関する信号を用いて電磁波パルスの時間波形を構成する波形構成部と、 前記電磁波パルスの時間波形と前記遅延光学部における前記第一、前記第二の伝搬経路の長さに関する情報とに基づき電磁波パルスの波面を取得する波面取得部と、を有することを特徴とする波面測定装置。

IPC (3件)：

G01N 21/35 ,  G01N 21/27 ,  G01J 9/00

FI (3件)：

G01N21/35 Z ,  G01N21/27 A ,  G01J9/00

Fターム (12件)：

2G059AA02 ,  2G059AA10 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ14 ,  2G059KK04 ,  2G059MM20