特許
J-GLOBAL ID：201303088120946245
基板検査方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-070849
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205039
出願日： 2012年03月27日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】基板検査に要する時間を短縮化する。【解決手段】相対的に移動する基板又は受光手段の加速区間及び減速区間においては、移動速度が定速区間の速度よりも小さくなり、受光手段の検出空間分解能が移動方向に小さくなり、定速区間の分解能と加速区間及び減速区間の分解能に差が生じ、検出欠陥形状が面積にズレが生じる。この発明では、加速区間及び減速区間における受光手段の分解能が定速区間における受光手段の分解能とほぼ等しくなるように受光手段のシャッタ速度を加減速中に補正する。また、加速区間及び減速区間における受光手段の感度が定速区間における受光手段の感度とほぼ等しくなるように受光手段の感度を加減速中に補正する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板に対して検査光を相対的に移動させながら照射し、前記基板からの反射光又は散乱光を受光手段にて受光することによって前記基板を検査する基板検査方法において、前記相対的な移動速度が所定速度に到達するまでの加速区間、前記相対的な移動速度が前記所定速度を維持する定速区間、及び前記相対的な移動速度が前記所定速度から減速して停止するまでの減速区間のそれぞれの区間における前記受光手段の分解能が略一定となるように前記受光手段のシャッタ速度を調整しながら検査を行なうことを特徴とする基板検査方法。
IPC (2件)：
G01N 21/896
, G01N 21/958
2G051AA84
, 2G051AB02
, 2G051AC15
, 2G051BC06
, 2G051CA04
, 2G051CB05
, 2G051CD06
, 2G051EA02
, 2G051EA24
