カラーフィルタの研磨方法および研磨装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-069171
公開番号（公開出願番号）：特開2013-198961
出願日： 2012年03月26日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
要約：

【課題】コンベア上に載置して水平搬送されるカラーフィルタの表面に平行に研磨パッドを接触させて回動させることにより研磨するカラーフィルタの研磨方法において、コンベア上でのカラーフィルタの位置ずれを起こさない方法を提供すること。【解決手段】研磨プレート上に貼付した研磨パッド表面を、水平搬送されるカラーフィルタの表面に平行に接触させて回動させることにより、研磨するカラーフィルタの研磨方法であって、研磨パッド表面が、前記水平搬送方向になだらかな肩形状を有する周期的な凹凸形状を有し、研磨面となる水平面内を公転運動する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

研磨プレート上に貼付した研磨パッド表面を、水平搬送されるカラーフィルタの表面に平行に接触させて回動させることにより、研磨するカラーフィルタの研磨方法であって、研磨パッド表面が、前記水平搬送方向になだらかな肩形状を有する周期的な凹凸形状を有し、研磨面となる水平面内を公転運動することを特徴とするカラーフィルタの研磨方法。

IPC (3件)：

B24B 37/26 , B24B 37/20 , B24B 37/10

FI (3件)：

B24B37/00 T , B24B37/04 Y , B24B37/04 G

Fターム (6件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AA11 , 3C058AB03 , 3C058CA01 , 3C058CB02

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