特許

J-GLOBAL ID：201303088716797395

センサー素子、センサー素子の製造方法、センサーデバイスおよび電子機器

発明者： 浅利 友隆
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062706
公開番号（公開出願番号）：特開2013-195239
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
要約：

【課題】製造工程を簡素化しつつ、優れた検出感度を有するセンサー素子を提供すること、また、かかるセンサー素子の製造方法を提供すること、さらに、かかるセンサー素子を備える信頼性に優れたセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。【解決手段】センサー素子2は、連結腕212を有する基部21と、連結腕212から延出された駆動用振動腕25、26と、駆動用振動腕25、26に設けられた駆動部51〜54と、連結腕212に設けられた配線67〜69とを備え、駆動部51、53が接続部59を介して接続され、駆動部52、54が接続部60を介して接続され、接続部59、60は、下部電極層と、上部電極層と、圧電体層とを有し、配線67、68は、接続部60の上部電極層を介して接続部59の下部電極層に電気的に接続され、配線69は、接続部60の下部電極層を介して接続部59の上部電極層に電気的に接続されている。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

本体部と、前記本体部から延出された連結腕とを有する基部と、 前記連結腕から互いに反対方向へ延出された第1の駆動用振動腕および第2の駆動用振動腕と、 前記本体部から延出された検出用振動腕と、 前記第1の駆動用振動腕に設けられ、前記第1の駆動用振動腕を屈曲振動させる第1の駆動部および第2の駆動部と、 前記第2の駆動用振動腕に設けられ、前記第2の駆動用振動腕を屈曲振動させる第3の駆動部および第4の駆動部と、 前記連結腕に設けられ、前記第1の駆動部、前記第2の駆動部、前記第3の駆動部および前記第4の駆動部にそれぞれ電気的に接続されている第1の配線および第2の配線とを備え、 前記第2の駆動部は、前記第1の駆動部に対して前記本体部側に設けられ、 前記第4の駆動部は、前記第3の駆動部に対して前記本体部側に設けられ、 前記第1の駆動部および前記第3の駆動部は、前記連結腕に設けられた第1の接続部を介して接続され、 前記第2の駆動部および前記第4の駆動部は、前記連結腕に設けられた第2の接続部を介して接続され、 前記第1の接続部は、第1の下部電極層と、前記第1の下部電極層に対して前記連結腕とは反対側に設けられた第1の上部電極層と、前記第1の下部電極層と前記第1の上部電極層との間に設けられた第1の圧電体層とを有し、 前記第2の接続部は、第2の下部電極層と、前記第2の下部電極層に対して前記連結腕とは反対側に設けられた第2の上部電極層と、前記第2の下部電極層と前記第2の上部電極層との間に設けられた第2の圧電体層とを有し、 前記第1の配線は、前記第2の上部電極層を介して前記第1の下部電極層に電気的に接続され、 前記第2の配線は、前記第2の下部電極層を介して前記第1の上部電極層に電気的に接続されていることを特徴とするセンサー素子。

IPC (6件)：

G01C 19/562 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (9件)：

G01C19/56 121 ,  G01C19/56 128 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z

Fターム (8件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13