特許
J-GLOBAL ID：201303089335862227
検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
内藤 浩樹
, 永野 大介
, 藤井 兼太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-052653
公開番号（公開出願番号）：特開2013-011585
出願日： 2012年03月09日
公開日（公表日）： 2013年01月17日
要約：
【課題】開口部から電解液が露出しない現象の発生を防止して、被検物の検査を行う検査方法の提供を目的とする。【解決手段】本発明は開口部とその上方に位置する電極とを有する容器を用い、前記開口部の下方に配置された被検物と前記電極とを前記容器内に貯留された電解液を介して電気的に接続して前記被検物の検査を行う検査方法であって、前記開口部に向けて縮径するテーパ形状を有する前記容器の前記開口部の上方に位置する注液口から予め設定した第1量の前記電解液を注液して前記開口部から前記電解液の液面を前記容器からはみ出させ、前記第1量よりも少ない液量である予め設定した第2量となるまで前記電解液を前記注液口から吸引し、前記第2量の前記電解液を介して前記被検物と前記電極とを電気的に接続して前記被検物の検査を行う検査方法を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
開口部とその上方に位置する電極とを有する容器を用い、前記開口部の下方に配置された被検物と前記電極とを前記容器内に貯留された電解液を介して電気的に接続して前記被検物の検査を行う検査方法であって、
前記開口部に向けて縮径するテーパ形状を有する前記容器の前記開口部の上方に位置する注液口から予め設定した第1量の前記電解液を注液して前記開口部から前記電解液の液面を前記容器からはみ出させ、
前記第1量よりも少ない液量である予め設定した第2量となるまで前記電解液を前記注液口から吸引し、
前記第2量の前記電解液を介して前記被検物と前記電極とを電気的に接続して前記被検物の検査を行う検査方法。
IPC (4件)：
G01N 27/416
, G01N 27/327
, G01N 27/28
, G01N 27/30
G01N27/46 336B
, G01N27/46 336G
, G01N27/30 353Z
, G01N27/28 301Z
, G01N27/30 A
