特許

J-GLOBAL ID：201303089482190692

大面積線形アレイのナノインプリンティング

発明者： チョイ,ビュン-ジン ,  スリーニヴァサン,シドルガータ,ブイ ,  チェラーラ,アンシュマン
出願人/特許権者： モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-533138
公開番号（公開出願番号）：特表2013-507770
出願日： 2010年10月08日
公開日（公表日）： 2013年03月04日
要約：

インプリンティング及びインプリント・リソグラフィ・テンプレートを基板上のフィールドと位置合わせするためのシステム及び方法が説明される。基板のフィールドは細長い側を有することができ、細長い側の位置合わせ感度を意図的に最小にすることができる。【選択図】 図4A

請求項（抜粋）：

インプリント・リソグラフィ・テンプレートを基板上のフィールドと位置合わせするステップを含み、前記基板の前記フィールドは、第1の寸法を有する第1の側と、第2の寸法を有する第2の側とを有し、前記第1の寸法は前記第2の寸法よりも実質的に大きく、前記第1の辺の位置合わせ感度は前記第2の辺よりも実質的に低いことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  B29C 33/30

FI (3件)：

H01L21/30 502D ,  H01L21/30 507A ,  B29C33/30

Fターム (11件)：

4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH36 ,  4F202AM19 ,  4F202AR07 ,  4F202CB01 ,  4F202CR06 ,  5F146AA32 ,  5F146EA03 ,  5F146EA07 ,  5F146EA10