ウェハ保持構造およびそれを備えた蒸着装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-029262
公開番号（公開出願番号）：特開2013-166966
出願日： 2012年02月14日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：

【課題】種々の厚みのウェハを、欠けを生じさせることなく確実に保持することのできるウェハ保持構造と蒸着装置とを提供する。【解決手段】ウェハ保持部5は、ウェハを保持する引掛け部9と、その引掛け部9に弾性力を付与するバネ7と、そのバネ7の長さを調節するバネ調整部11とを備えている。3つの引掛け部9は、ウェハ21の周方向に対して互いに距離を隔てて配置されている。バネ調整部11は、ウェハ21の中央部に対応する位置に配置されている。引掛け部9の一端側は、プラネタリドーム3に設けられた開口部3bから、ウェハが配置されたプラネタリドーム3の表面側へ突出している。引掛け部9の他端側は、バネ7の一端側に接続され、バネ7の他端側はバネ調整部11に接続されている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板の外縁の周方向における少なくとも3箇所にそれぞれ当接し、前記基板を径方向から挟み込む態様で前記基板を保持する複数の当接部と、複数の前記当接部のそれぞれに接続され、前記当接部のそれぞれを前記基板の中央に向って付勢する付勢力を付与する複数の弾性体と、複数の前記弾性体のそれぞれが接続され、前記弾性体の長さを変えることにより、前記付勢力として前記基板に対応した所望の付勢力に設定するための弾性調整部とを備えた、ウェハ保持構造。

IPC (1件)：

C23C 14/50

FI (1件)：

C23C14/50 B

Fターム (6件)：

4K029AA24 , 4K029BA03 , 4K029BD01 , 4K029CA01 , 4K029JA02 , 4K029JA05

引用特許：

出願人引用 (6件)

ウェハクランプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-100482 出願人：タツモ株式会社
特開昭62-122232
蒸着装置用基板ホルダー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-226729 出願人：株式会社クボタ

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審査官引用 (6件)

ウェハクランプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-100482 出願人：タツモ株式会社
特開昭62-122232
蒸着装置用基板ホルダー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-226729 出願人：株式会社クボタ

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