アルキル官能性シルセスキオキサン樹脂を使用した柔軟性導波路の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉村憲司 , 吉田憲悟 , 櫻田芳恵
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-544550
公開番号（公開出願番号）：特表2013-515276
出願日： 2010年11月22日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
要約：

シリコーン組成物は、(A)式:(R1R22SiO1/2)v(R22SiO2/2)w(R2SiO3/2)x(R3SiO3/2)y(SiO4/2)z[式中、オルガノポリシロキサン樹脂が、ケイ素が結合したエポキシ置換有機基を1分子当たり平均少なくとも2つ有するという条件で、R1はC1〜C10ヒドロカルビルであり、R2はR1又はエポキシ置換有機基であり、R3はC4〜C8アルキルであり、vは0〜0.3であり、wは0〜0.5であり、xは0〜0.9であり、yは0.1〜0.8であり、zは0〜0.5であり、v+w+x+y+z=1である]を有するオルガノポリシロキサン樹脂と、(B)有機溶媒と、(C)光開始剤とを含む。シリコーン組成物を含んだ1以上の層を有する平面光導波路組立品、及び、平面光導波路組立品の製造方法が提供される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

(i)(A)下記式を有するオルガノポリシロキサン樹脂と (R1R22SiO1/2)v(R22SiO2/2)w(R2SiO3/2)x(R3SiO3/2)y(SiO4/2)z[式中、該オルガノポリシロキサン樹脂が、ケイ素が結合したエポキシ置換有機基を1分子当たり平均少なくとも2つ有するという条件で、R1はC1〜C10ヒドロカルビルであり、R2はR1又はエポキシ置換有機基であり、R3はC4〜C8アルキルであり、vは0〜0.3であり、wは0〜0.5であり、xは0〜0.9であり、yは0.1〜0.8であり、zは0〜0.5であり、v+w+x+y+z=1である]; (B)有機溶媒と; (C)光開始剤と; を含んだシリコーン組成物を基板表面に塗布して、第1シリコーンフィルムを形成することと、 (ii)前記第1シリコーンフィルムの選択された少なくとも1つの領域を、波長150nm〜800nmの放射線に曝露し、少なくとも1つの曝露領域と少なくとも1つの非曝露領域とを有する、部分的に曝露されたフィルムを生成することと、 (iii)前記部分的に曝露されたフィルムの前記非曝露領域を、現像溶媒を使用して除去し、パターン化されたフィルムを形成することと、 (iv)波長589nmの光に対して23°Cで約1.45〜約1.60の屈折率を有する少なくとも1つのシリコーンコアを形成するのに充分な時間、前記パターン化されたフィルムを加熱し、前記シリコーンコアの前記屈折率が前記基板の屈折率よりも高くなるようにすることとを具える、平面光導波路組立品の製造方法。

IPC (5件)：

G02B 6/13 , G02B 6/12 , C08G 59/20 , C08G 77/14 , G03F 7/075

FI (5件)：

G02B6/12 M , G02B6/12 N , C08G59/20 , C08G77/14 , G03F7/075 511

Fターム (66件)：

2H125AC00 , 2H125AC78 , 2H125AE12P , 2H125CA15 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC12 , 2H125FA05 , 2H147EA09C , 2H147EA12C , 2H147EA13C , 2H147EA14C , 2H147EA15C , 2H147EA16B , 2H147EA16C , 2H147EA17B , 2H147EA17C , 2H147EA18A , 2H147EA18B , 2H147EA19B , 2H147EA19C , 2H147EA20B , 2H147FA16 , 2H147FA17 , 2H147FC02 , 2H147FE02 , 2H147GA17 , 4J036AK17 , 4J036GA26 , 4J036HA02 , 4J036JA09 , 4J036JA15 , 4J246AA03 , 4J246AB05 , 4J246AB15 , 4J246BA11X , 4J246BA110 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246BB021 , 4J246BB022 , 4J246BB023 , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA26X , 4J246CA260 , 4J246CA34X , 4J246CA340 , 4J246CA40X , 4J246CA400 , 4J246CA69X , 4J246CA690 , 4J246FA071 , 4J246FA081 , 4J246FA121 , 4J246FA131 , 4J246FA271 , 4J246FA331 , 4J246FA371 , 4J246FA391 , 4J246FA461 , 4J246FB101 , 4J246FC121 , 4J246FC281 , 4J246HA14 , 4J246HA15

引用特許：

審査官引用 (4件)

平面光学導波管組み立て品、およびこれの製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-515620 出願人：ダウ・コーニング・コーポレイション
平面光学導波管組み立て品、およびこれの製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-515621 出願人：ダウ・コーニング・コーポレイション
フォトイメージャブル導波路組成物及びそれから形成される導波路
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-401215 出願人：ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.

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