特許
J-GLOBAL ID:201303090778824733

樹脂封止装置及び樹脂封止方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 和秀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-090202
公開番号(公開出願番号):特開2013-219275
出願日: 2012年04月11日
公開日(公表日): 2013年10月24日
要約:
【課題】特殊な形状や異なる材質の部分を有するような被封止体であっても、樹脂封止に適した温度に効率的に予熱できるようにする。【解決手段】被封止体8を加熱する加熱面をそれぞれ有する二つの加熱手段25,27;26,28を備え、互いに対向する両加熱面によって、被封止体8を両側から加熱するものであって、両加熱手段には、被封止体8に近接する方向に突出する凸状加熱部27a,28a,28bを有し、被封止体8に対する加熱の度合いを部分的に異ならせるようにし、これによって、被封止体8を、部分毎に適切に予熱するようにしている。【選択図】図4
請求項(抜粋):
被封止体を予熱する予熱機構を備え、該予熱機構によって予熱された被封止体を、樹脂封止用の成形型によって樹脂封止する樹脂封止装置であって、 前記予熱機構は、前記被封止体が前記樹脂封止用の成形型へ搬送される搬送経路の途中に設けられ、 前記予熱機構は、前記被封止体を加熱する加熱面をそれぞれ有する二つの加熱手段を備え、 前記両加熱手段の前記両加熱面は、互いに対向し、前記両加熱面によって、前記被封止体を両側から加熱するものであり、 前記両加熱手段の少なくとも一方の加熱手段は、前記被封止体に臨む加熱面の少なくとも一部が前記被封止体に近接する方向に突出する凸状加熱部を有する、 ことを特徴とする樹脂封止装置。
IPC (1件):
H01L 21/56
FI (1件):
H01L21/56 T
Fターム (6件):
5F061AA01 ,  5F061BA01 ,  5F061BA04 ,  5F061CA21 ,  5F061DA01 ,  5F061DE05
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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