特許

J-GLOBAL ID：201303091221749360

変形可能な反射光学素子、光学系、及び露光装置

発明者： 川原 英隆
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-023554
公開番号（公開出願番号）：特開2013-161992
出願日： 2012年02月06日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
要約：

【課題】簡単な機構を用いて反射部材の反射面を種々の形状に容易に変形可能とする。【解決手段】照明光ILを反射するデフォーマブルミラー50であって、照明光ILを反射する反射面22dを有するミラー要素22と、ミラー要素22の周辺部の保持部22aを保持するホールドブロック23Aと、ミラー要素22の反射面22dの裏面22eに対して裏面22eに向かう方向の力を与えて、その裏面22eに向かう方向に関する第1位置と第2位置との間で反射面22dを変形させる複数の駆動ユニット58と、を備え、駆動ユニット58から裏面22eに対して裏面22eに向かう方向の力が付与されていないときに、反射面22dはその第2位置にある。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光を反射する変形可能な反射光学素子であって、 光を反射する反射面を有する反射部材と、 前記反射部材の周辺部を保持する保持部と、 前記反射部材の前記反射面の裏面に対して所定方向の力を与えて、前記所定方向に関する第1位置と第2位置との間で、前記反射面を変形させる少なくとも一つの駆動部と、を備え、 前記駆動部から前記裏面に対して前記所定方向の力が付与されていないとき、前記反射面は前記第2位置にあることを特徴とする変形可能な反射光学素子。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 5/10

FI (4件)：

H01L21/30 516A ,  H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  G02B5/10 B

Fターム (14件)：

2H042DD09 ,  2H042DD10 ,  2H042DD13 ,  2H042DE04 ,  5F146BA03 ,  5F146CB03 ,  5F146CB12 ,  5F146CB45 ,  5F146DA13 ,  5F146DB01 ,  5F146DB05 ,  5F146DB06 ,  5F146DC08 ,  5F146DC12