特許
J-GLOBAL ID：201303091437147462
露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-203549
公開番号（公開出願番号）：特開2013-064872
出願日： 2011年09月16日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：
【課題】露光対象のフィルムが幅方向に変形した場合においても、マスクを取り替えることなく露光できる露光装置を提供する。【解決手段】露光対象のフィルム1は、例えば供給リール41、搬送ローラ42,43、リール44等の搬送装置により1方向に移動される。光源5A,5Bから出射された露光光は、夫々、アパーチャ3A及びマスク2A,2Bを透過して、フィルム1に照射される。マスク2には、フィルム1の移動方向に直交する方向に複数本のスリット2bが設けられ、その幅は、フィルム移動方向に沿って線形的に変化するように設けられている。アパーチャ3には、フィルム移動方向に直交する方向に延びる開口3bが設けられており、制御装置は、マスク2とアパーチャ3とのフィルム移動方向における相対的な位置を制御するので、フィルム1の露光すべき幅が変化しても、マスク2を取り替えることなく露光できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
露光対象のフィルムを第1方向に移動させる搬送装置と、
露光光を出射する光源と、
前記第1方向に傾斜する方向に延びるスリットが前記第1方向に直交する第2方向に複数本配列され、前記スリットを介して前記露光光を前記フィルムに照射するマスクと、
前記マスクに重ね合わされ、前記第2方向に延びて全ての前記スリットと交差する開口が形成された遮光部材と、
前記遮光部材と前記マスクとの前記第1方向における相対的な位置を制御する制御部と、を有し、
前記スリットは、その幅が前記第1方向に関して線形的に変化しており、前記スリット間の間隔は前記第2方向にみたときに前記スリットの幅と同一であり、
前記制御部は、前記フィルムの幅方向の伸びに応じて前記マスクと前記遮光部材との相対的な位置を制御することを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20
, G02B 5/30
, H01L 21/027
G03F7/20 501
, G02B5/30
, H01L21/30 516A
2H097AA05
, 2H097GA45
, 2H097LA11
, 2H097LA12
, 2H149AA02
, 2H149AA20
, 2H149AB26
, 2H149BA02
, 2H149DA01
, 2H149DA02
, 2H149DA12
, 2H149DB06
, 2H149EA03
, 5F146BA02
, 5F146DA16
