特許

J-GLOBAL ID：201303091978629303

酸化物単結晶の育成方法及び育成装置

発明者： 高橋 正訓 ,  日向野 哲 ,  久保 拓矢
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 杉浦 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-031607
公開番号（公開出願番号）：特開2013-166671
出願日： 2012年02月16日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：

【課題】効率的に原料を溶融させることができると共に溶融帯を狭くすることができる酸化物単結晶の育成方法及び育成装置を提供すること。【解決手段】原料焼結体11に対して第1波長のレーザ光L1を照射し、原料焼結体11に溶融帯11Aを形成する工程と、溶融帯11Aに対して第2波長のレーザ光L2を照射し、溶融帯11Aの溶融状態を維持する工程とを備え、第1波長のレーザ光L1が、第2波長のレーザ光L2よりも原料焼結体11に対する吸収率が高い波長であり、第2波長のレーザ光L2は、第1波長のレーザ光L1よりも原料焼結体11の融液に対する吸収率を高く設定されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

原料棒を長手方向に沿って順次加熱、溶融して溶融帯を形成した後に、前記溶融帯を冷却、凝固させて酸化物単結晶を育成する方法であって、 前記原料棒に対して第1波長のレーザ光を照射し、前記原料棒に前記溶融帯を形成する工程と、 前記溶融帯に対して第2波長のレーザ光を照射し、前記溶融帯の溶融状態を維持する工程とを備え、 前記第1波長のレーザ光が、前記第2波長のレーザ光よりも前記原料棒に対する吸収率が高い波長であり、 前記第2波長のレーザ光が、前記第1波長のレーザ光よりも前記原料棒の融液に対する吸収率が高く設定されていることを特徴とする酸化物単結晶の育成方法。

IPC (2件)：

C30B 13/22 ,  C30B 29/16

FI (2件)：

C30B13/22 ,  C30B29/16

Fターム (8件)：

4G077AA02 ,  4G077BC00 ,  4G077CE03 ,  4G077CE05 ,  4G077EA01 ,  4G077EG15 ,  4G077NA05 ,  4G077NB03