特許
J-GLOBAL ID：201303092280344893

単層物体及び多層物体の界面特性を検出及び測定するシステム及び方法

発明者：
ホワイト、ジェフリー、エス.

ホワイト、ジェフリー、エス. について

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フィヒター、グレゴリー、ディー.

フィヒター、グレゴリー、ディー. について

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デュリング、アール

デュリング、アール について

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ジムダーズ、デイビッド

ジムダーズ、デイビッド について


出願人/特許権者：
ピコメトリクス、エルエルシー

ピコメトリクス、エルエルシー について


代理人 (5件)： 特許業務法人浅村特許事務所 ,  浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  橋本 裕之 ,  白江 克則
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-534314
公開番号（公開出願番号）：特表2013-507640
出願日： 2010年10月13日
公開日（公表日）： 2013年03月04日
要約：
第1の層と第2の層との間の境界面の特性を求めるシステムは、試料に電磁放射線を出力する送信器と、試料によって反射された電磁放射線又は試料を透過した電磁放射線を受け取る受信器と、データ収集デバイスとを含む。データ収集デバイスは、試料から反射された電磁放射線又は試料を透過した電磁放射線をデジタル化して波形データを生成するように構成され、波形データは、試料から反射された放射線又は試料を透過した放射線を表し、第1の大きさ、第2の大きさ及び第3の大きさを有する。求めるべき材料特性は、一般に、第1の層と第2の層との間の接着強度である。
請求項（抜粋）：
試料の第1の層と第2の層との間の境界面の材料特性を求める方法において、 前記試料に対して電磁放射線を出力するステップと、 前記試料によって反射された電磁放射線又は前記試料を透過した電磁放射線を受け取るステップと、 前記試料から反射された前記電磁放射線又は前記試料を透過した前記電磁放射線をデジタル化して波形データを生成するステップであって、前記波形データが、前記試料から反射された前記放射線又は前記試料を透過した前記放射線を表し、前記波形データが、第1の大きさ、第2の大きさ、及び第3の大きさを有し、 前記第1の大きさが、前記第1の層の最上面の境界面に供給された前記電磁放射線の反射された部分又は透過した部分を表し、前記第2の大きさが、前記第1の層と前記第2の層との間の前記境界面に供給された前記電磁放射線の反射された部分又は透過した部分を表し、前記第3の大きさが、前記第2の層の最下面の境界面に供給された前記電磁放射線の反射された部分又は透過した部分を表す、ステップと、 前記第2の大きさ及び/又は前記第3の大きさを解析することにより、前記試料の前記第1の層と前記第2の層との間の材料特性を求めるステップとを含む方法。
IPC (1件)：
G01N 21/35
FI (1件)：
G01N21/35 Z
Fターム (14件)：
2G059AA03 ,  2G059AA10 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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