特許
J-GLOBAL ID:201303092378616476
撮像装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
世良 和信
, 川口 嘉之
, 和久田 純一
, 坂井 浩一郎
, 中村 剛
, 丹羽 武司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-169520
公開番号(公開出願番号):特開2013-034127
出願日: 2011年08月02日
公開日(公表日): 2013年02月14日
要約:
【課題】広視野かつ高解像の撮像装置において、視野全体にわたり良好な収差補正を行うことが可能な技術を提供する。【解決手段】撮像装置が、撮像部と、試料の像を拡大して前記撮像部に導く結像光学系と、制御手段と、を備える。前記撮像部は、前記試料の像を複数の小区画に分けて撮像するための複数の撮像素子ユニットを有しており、前記複数の撮像素子ユニットのそれぞれは、撮像する小区画の像に含まれる収差を補正する収差補正手段と、前記収差補正手段により補正された像を撮像する撮像素子と、を有し、前記制御手段は、撮像する小区画の位置に応じて各撮像素子ユニットの収差補正手段の補正量を個別に制御する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
撮像部と、
試料の像を拡大して前記撮像部に導く結像光学系と、
制御手段と、を備え、
前記撮像部は、前記試料の像を複数の小区画に分けて撮像するための複数の撮像素子ユニットを有しており、
前記複数の撮像素子ユニットのそれぞれは、撮像する小区画の像に含まれる収差を補正する収差補正手段と、前記収差補正手段により補正された像を撮像する撮像素子と、を有し、
前記制御手段は、撮像する小区画の位置に応じて各撮像素子ユニットの収差補正手段の補正量を個別に制御する
ことを特徴とする撮像装置。
IPC (6件):
H04N 5/232
, G02B 21/36
, G02B 21/00
, G02B 13/00
, G02B 13/18
, G02B 7/02
FI (6件):
H04N5/232 Z
, G02B21/36
, G02B21/00
, G02B13/00
, G02B13/18
, G02B7/02 E
Fターム (22件):
2H044AE10
, 2H052AB01
, 2H052AB08
, 2H052AF14
, 2H087KA09
, 2H087LA26
, 2H087LA28
, 2H087NA01
, 2H087RA45
, 5C122DA03
, 5C122DA04
, 5C122DA12
, 5C122EA31
, 5C122FB02
, 5C122FB03
, 5C122FB17
, 5C122FC01
, 5C122FC02
, 5C122HA82
, 5C122HB01
, 5C122HB05
, 5C122HB10
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