特許
J-GLOBAL ID：201303092462958862

表面検査装置および欠陥計測方法

発明者：
腰原 敬弘

腰原 敬弘 について


出願人/特許権者：
JFEスチール株式会社

JFEスチール株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-101772
公開番号（公開出願番号）：特開2013-228329
出願日： 2012年04月26日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：
【課題】リフトオフを大きく確保しながらも高い空間分解能を持ち、スケールの下の欠陥を計測することができる表面検査装置および欠陥計測方法を提供すること。【解決手段】本発明の表面検査装置は、テラヘルツ波を発生する非線形光学結晶5と、非線形光学結晶5から発生したテラヘルツ波をコリメートし、P偏光を含むテラヘルツ波を鋼板8の酸化膜に対するブリュースター角で鋼板8に照射させる放物面鏡7および偏光板19と、鋼板8の酸化膜と鋼板8との界面で反射されたテラヘルツ波の進行方向垂直平面上の強度分布を検出するテラヘルツ波検出装置17と、テラヘルツ波検出装置17において検出されたテラヘルツ波の強度分布に基づいて欠陥を検出する欠陥判定装置18とを備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生手段と、 前記テラヘルツ波発生手段から発生したテラヘルツ波をコリメートし、P偏光を含むテラヘルツ波を被検体の酸化膜に対するブリュースター角で前記被検体に照射させるテラヘルツ波照射手段と、 前記被検体の酸化膜と前記被検体との界面で反射されたテラヘルツ波の進行方向垂直平面上の強度分布を検出するテラヘルツ波検出手段と、 前記テラヘルツ波検出手段において検出された前記テラヘルツ波の強度分布に基づいて欠陥を検出する欠陥判定手段と、 を備えることを特徴とする表面検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/892 ,  G01N 21/35 ,  G01N 22/00 ,  G01N 22/02
FI (5件)：
G01N21/892 B ,  G01N21/35 ,  G01N22/00 S ,  G01N22/02 B ,  G01N22/00 R
Fターム (15件)：
2G051AA16 ,  2G051AA37 ,  2G051AB02 ,  2G051BA04 ,  2G051BB01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK01
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 表面疵検査装置及びその方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-099129   出願人：日本鋼管株式会社
  • 電磁波測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-182202   出願人：松下電器産業株式会社
  • 表面検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-021016   出願人：新日本製鐵株式会社
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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