特許

J-GLOBAL ID：201303092628476810

単一の記録マスタから両面テンプレートを作成する方法および装置ならびに第二面テンプレート

発明者： デイビッド・クオ ,  ゲナディ・ガウズナー ,  キム・ヤン・リー
出願人/特許権者： シーゲイト テクノロジー エルエルシー
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-108414
公開番号（公開出願番号）：特開2012-252771
出願日： 2012年05月10日
公開日（公表日）： 2012年12月20日
要約：

【課題】単一の記録マスタから両面テンプレートを作る方法を提供する。【解決手段】単一の記録マスタを使用して第一のテンプレートを製造するステップを備える。第一のテンプレートにおいては、デューティサイクルが変更され、サーボアーク配向は変更されない。方法はさらに、第一のテンプレートの複製物を作成するステップを備える。複製物においては、サーボアーク配向が鏡写しとなり、デューティサイクルが変更される。方法はさらに、複製物を使用して第二のテンプレートを製造するステップを備え、パターンドスタックの第二面に転写するための所定の鏡写しのサーボアーク配向および所定のデューティサイクルを第二のテンプレートに形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

単一の記録マスタから両面テンプレートを作成する方法であって、 単一の記録マスタを使用して第一のテンプレートを製造するステップを備え、第一のテンプレートにおいては、デューティサイクルが変更され、サーボアーク配向は変更されず、方法はさらに、 第一のテンプレートの複製物を作成するステップを備え、複製物においては、サーボアーク配向が鏡写しとなり、デューティサイクルが変更され、方法はさらに、 パターンドスタックの第二面に転写するための所定の鏡写しのサーボアーク配向および所定のデューティサイクルを作成するために、複製物を使用して第二のテンプレートを製造するステップを備える、方法。

IPC (4件)：

G11B 5/84 ,  H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  B29C 33/38

FI (4件)：

G11B5/84 Z ,  H01L21/30 502D ,  B29C59/02 B ,  B29C33/38

Fターム (25件)：

4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AJ06 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CD02 ,  4F202CD24 ,  4F202CK11 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH38 ,  4F209AH79 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC12 ,  4F209PC13 ,  4F209PQ11 ,  5D112AA05 ,  5D112AA17 ,  5D112AA24 ,  5D112BA10 ,  5D112GA00 ,  5F146AA31 ,  5F146AA32

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特許第7036209号
  
• 特許第7036209号